中古 EMITECH / EMCORE K575 #9028726 を販売中

EMITECH/EMCORE K575スパッタリング装置は、主に研究開発に使用される先進的な薄膜蒸着装置です。スパッタリングシステムのKシリーズの最新モデルです。その設計は精密制御と高い再現性を提供し、幅広い薄膜蒸着アプリケーションに最適です。EMCORE K575スパッタリングシステムは、高精度なパラメータ設定、再現可能な蒸着、および高スループットを提供する最適化されたシングルステージデジタル「オープンループ」RF電源を使用することで強化されています。新たなシングルるつぼ設計により、トップローディングコイルとマグネットアレンジにより、さまざまなアプリケーションシーケンスの迅速なレシピ実行が容易になります。EMITECH K575は、セットアップと使用を容易にする直感的な4。5 インチカラーLCDタッチスクリーンコントロールインターフェイスと、リモートI/O接続によるカスタムプログラムコントロール用の組み込みPLCを備えています。これは、複雑なプロセス実装を可能にするために、幅広いPLCモジュールで使用することができます。ユニット自体は、メインボディとプロセスモジュールの2つの主要コンポーネントで構成されています。本体には操作に必要なすべてのコンポーネントが収納されています。これには、PLC、電源、ガス流量制御、RF電源、薄膜蒸着用チャンバーが含まれます。プロセスモジュールをカスタマイズして、さまざまなコーティングアプリケーションのさまざまな実装シナリオを実現できます。TheProcessモジュールは、材料資源の挿入と処理後の材料の除去を容易にするように設計されたスロットを備えたアルミ合金ホールディングチャンバーで構成されています。それはまた遠くから機械全体を制御するのに使用することができる無線リモート・コントロールを収容します。さらに、モジュールは高度な制御アルゴリズムを使用して、パラメータのデジタル設定と堆積ツール全体の正確な制御を可能にします。K575は研究開発のための理想的な選択、およびさまざまな工業生産の適用です。安定したRF出力、精密パラメータ設定、信頼性と高品質の薄膜蒸着プロセスを提供します。直感的なタッチスクリーンインターフェイス、プログラム可能なPLC、およびワイヤレスリモート機能により、このスパッタリング資産は非常にユーザーフレンドリーな機器になります。