中古 EMITECH / EDWARDS K750 #293637250 を販売中
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EMITECH/EDWARDS K750は、薄膜を基板に堆積させるために使用されるスパッタリング装置です。プラズマ源、蒸着速度を制御するための部品、真空を作成するための圧力制御ユニットを含むオールインワンシステムです。内部コンポーネントはデジタルディスプレイで制御され、PLC(プログラマブルロジックコントローラ)によって駆動されます。EMITECH K750は、DC電力を利用し、チャンバーと3つの主要コンポーネントで構成されています:ターゲット、基板ホルダー、イオン化領域。ターゲットはスパッタ材料で構成され、磁場でチャンバー壁に取り付けられています。基板ホルダーは、基板を配置してサポートするために使用されます。イオン化領域には、チャンバー内のマグネトロンによって生成されるいくつかの高活性イオンが含まれています。チャンバーには、チャンバー内の圧力を制御するためのいくつかの真空ポンプとバルブが装備されています。DC電源を使用して、ターゲット材料をターゲット表面からスパッタします。DCマグネトロンスパッタリングでは、対象物質にマグネトロンによって生成されたイオンが照射されます。イオンがターゲットに当たると、基板に堆積する物質が放出されます。スパッタリング材が放出される速度は、マグネトロンへのパワーレベルを制御することによって調整することができます。EDWARDS K750は、クリーンルーム環境で使用するように設計されており、自動蒸着システムに容易に統合されています。また、精密な温度制御のための熱電対機械を備えています。これは、反復可能で信頼性の高い薄膜をさまざまなアプリケーションで作成できることを意味します。要するに、K750は基板上に薄膜を堆積するために使用されるスパッタリングツールです。DC電源、ターゲット、基板ホルダー、イオン化領域を備え、蒸着プロセス用のイオンを生成します。クリーンルーム環境で使用するように設計されており、自動蒸着システムに容易に統合されています。さらに、精密な温度制御を備え、さまざまな用途で再現性と信頼性の高い薄膜を作成できます。
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