中古 ELECTROTECH MS 6210 #293745737 を販売中

ID: 293745737
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1994
Sputtering system, 6" RF 1994 vintage.
ELECTROTECH MS 6210は、薄膜蒸着プロセスの半導体産業の高度な要件を満たすように設計された最先端のスパッタ装置です。基板への精密かつ均一な成膜が可能で、エレクトロニクス、光学などハイテク産業の幅広い用途に適しています。MS 6210の中核にはマグネトロンスパッタリング技術があり、高い均一性と再現性を備えた薄膜の効率的で制御された成膜が可能です。このユニットは、高いスパッタリング速度と優れたフィルム品質を提供する高度なマグネトロン源を備えているため、研究環境と生産環境の両方に最適です。ELECTROTECH MS 6210には、ユーザーが簡単に沈着プロセスをプログラムし、監視することができる洗練された制御機が装備されています。このツールは、直感的な制御を備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供し、オペレータは、蒸着速度、膜厚、ターゲット材料組成などの堆積パラメータを正確に設定することができます。MS 6210の主な機能の1つは、ユーザーが特定の要件を満たすようにアセットをカスタマイズできる汎用性の高い構成オプションです。基板サイズ、蒸着源、ガスハンドリングシステムを幅広く搭載でき、DCやRFスパッタリングなどの薄膜蒸着技術に適しています。ELECTROTECH MS 6210は、製造環境へのシームレスな統合を可能にする高度なオートメーション機能を備えたハイスループット・オペレーション向けに設計されています。この装置には、基板の迅速な積み下ろしのためのロードロックチャンバーと、沈着時のフィルム特性をリアルタイムで監視するためのin-situ計測ツールが装備されています。MS 6210は、高度なプロセス制御アルゴリズムとモニタリングシステムにより、優れた膜均一性と厚さ制御を提供します。数ナノメートルから数マイクロメートルまでの膜厚を実現し、組成、構造、接着などの膜特性を卓越した制御が可能です。さらに、ELECTROTECH MS 6210は信頼性と稼働時間を念頭に設計されており、堅牢な構造と高品質のコンポーネントにより、メンテナンス要件を最小限に抑えて長期的な動作を保証します。このユニットは、オペレータと機器の両方を保護するための安全機能も備えており、薄膜蒸着プロセスにおいて信頼性が高く安全な選択肢となっています。全体として、MS 6210は最先端のスパッタリングマシンであり、薄膜蒸着用途において比類のない性能、柔軟性、信頼性を提供します。研究開発から大量生産まで一貫した高品質な結果を提供し、半導体業界をはじめとする先進的な薄膜コーティング工程に欠かせないツールです。
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