中古 DENTON VACUUM Discovery. #293797109 を販売中
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ID: 293797109
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2007
Deposition system, 6"-8"
Vacuum load lock
Robot loading assembly
VEECO Ion source, 5 cm
Gas controller
Cables
High steel chamber: 2" x 2" x 3"
(2) VAT Gate valves
(2) RF Tuners
(2) ANGSTROM SCIENCES RF Cathodes with power supplies / controllers
(2) ADVANCED ENERGY / DRESSLER Cesar RF Power generators
CTI CRYOGENICS Cryo-Torr 8 Cryogenic pump with monitor
CTI CRYOGENICS 8200 Compressor
KYKY Turbo pump
TRP-90 Vacuum pump
Pressure monitor
1200H Controller
Isolation valve
Power supply
PC
2007 vintage.
DENTON VACUUM Reliant 2は、半導体、光学、研究用途における薄膜成膜プロセス用に設計された先進的なスパッタリング装置です。この最先端システムは、優れた性能、柔軟性、および優れた均一性と精度で高品質の薄膜を製造するための信頼性を提供します。Reliant 2には最先端のマグネトロンスパッタリング技術が搭載されており、様々な基材に効率的かつ精密に薄膜を堆積させることができます。このユニットは、デュアルマグネトロン構成を備えており、多層蒸着または合金形成のための複数の材料の同時スパッタリングを可能にします。デュアルマグネトロン設計により、機械の汎用性が向上し、ユーザーは独自の特性を持つ複雑な薄膜構造を作成できます。DENTON VACUUM Reliant 2のスパッタリングプロセスは、高真空環境で行われ、クリーンで汚染のない蒸着プロセスを保証します。このツールは、優れた接着性と均一性を備えた高品質の薄膜コーティングを実現するために不可欠な、超高真空レベルを達成し、維持することができる堅牢な真空ポンプ資産を備えています。真空モデルはまた、ガス相の相互作用を最小限に抑え、安定したプロセス条件を確保することにより、スパッタリングプロセスの全体的な効率に貢献します。Reliant 2は高度な制御と監視機能を備えており、堆積率、目標電力、ガス流量、基板温度などの堆積パラメータを正確に調整および最適化できます。この機器には、リアルタイムのプロセス監視とデータロギング機能を提供するユーザーフレンドリーなインターフェースが装備されており、ユーザーはプロセスの最適化と品質管理のためのプロセスパラメータを追跡および分析することができます。DENTON VACUUM Reliant 2の主な利点の1つは、金属、酸化物、窒化物などの幅広いターゲット材料に対応することです。このシステムは容易なターゲット変更機能を提供し、ユーザーはさまざまなターゲット素材を迅速かつ効率的に切り替えることができます。この柔軟性により、複数の材料と薄膜構造の堆積が必要な研究開発用途に理想的です。高度なスパッタリング機能に加えて、DENTON VACUUM Reliant 2は、特定のアプリケーション要件を満たすためにさまざまなオプション機能とアップグレードを提供します。フィルムの密着性を向上させ、フィルム形態を制御するための基板加熱機能や、フィルム特性をリアルタイムで評価するためのin-situモニタリングツールなどがあります。このユニットは、生産性と操作性を向上させるために、オートメーションおよびソフトウェア制御システムと統合することもできます。Reliant 2は、最先端の技術とユーザーフレンドリーな操作を組み合わせ、高性能な薄膜成膜能力を提供する洗練されたスパッタリングマシンです。DENTON VACUUM Reliant 2は、半導体デバイスの製造、光学コーティング用途、研究開発プロジェクトのいずれにおいても、優れた品質と性能を備えた精密で均一な薄膜コーティングを実現するための信頼性の高い汎用性の高いソリューションを提供します。
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