中古 DENTON VACUUM DESK II #9180250 を販売中

ID: 9180250
Sputter coating system.
DENTON VACUUM DESK IIは、高エネルギーイオン、エチャント、電流に耐性のある薄膜の成膜用に設計されたスパッタ装置です。このシステムは、70mm目標直径の高性能スパッタリングガンを使用して、さまざまな基板に均質で高速なコーティングを提供します。さらに、このユニットは、エンドポイント検出制御のためのin-situ測定などの革新的な機能を備えています。Vacuum DESK IIは、高性能な高出力DCスパッタリングガンで、低動作圧での蒸着が可能な一次磁気シールドを採用しています。プログラマブル電源を採用し、再現性のある塗装工程を実現しています。さらに、この銃は蒸着を均一かつ高速に保つ熱的に制御された冷却ツールを備えています。Vacuum DENTON VACUUM DESK IIには、銃のイオンビーム場と、イオンスパッタリング速度を向上させるリモートプラズマ活性化が含まれており、より高い蒸着速度で均一な蒸着が可能です。Vacuum DESK IIの基板ホルダーは、300°Cまでの基板加熱を可能にする高度な熱保護モデルを備えた2ゾーン絶縁アセットです。この装置にまた1から10mbarまで可変的な圧力範囲があります。スパッタリングガンによる汚染を防ぎ、フィルムの劣化を防ぐための高温シールドと正確なロードロック避難用のユニークな中央真空ポートで設計されています。Vacuum DENTON VACUUM DESK IIには、PLCベースのMFC(多機能コントローラ)とグラフィカルユーザインタフェースが搭載されており、シンプルな操作が可能です。システムには、マシンの状態を監視、制御、および登録するための自動診断ユニットもあります。さらに、Vacuum DESK IIには、沈着プロセスを最適化するための15以上のリアルタイムオートメーションアルゴリズムがあります。Vacuum DENTON VACUUM DESK IIは、その先進的な機能に加えて、コンポーネントやスパッタリングガンにメンテナンス用に簡単にアクセスできるオープンエアシャワー設計を採用しています。このツールは、サンプル交換に伴うダウンタイムを低減する高速自動ドアアセットも備えています。さらに、Vacuum DESK IIには、ユーザーを保護するために設計された安全インターロックモデルが装備されています。DENTON VACUUM DESK IIは、幅広い産業用途に適した先進的なスパッタリング装置です。スパッタリングガンとエンドポイント測定システムを一体化したこのユニットは、幅広い基板にわたって効率的かつ均一な蒸着を提供することができます。さらに、グラフィカルユーザーインターフェイスを備えたPLCベースのMFCなどのハイテク機能により、信頼性の高い正確な蒸着が可能です。
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