中古 DENTON VACUUM DESK II #9123964 を販売中
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ID: 9123964
SEM Gold sputtering system table top
Glass bell jar
Single target
Single wafer or standard SEM samples
Includes a Power supply.
DENTON VACUUM DESK IIは、広い領域に均一で反復可能なスパッタリング成膜を提供するように設計された先進的なスパッタリング装置です。このシステムは、電源コントローラ、2つの平面マグネトロン、および真空チャンバーで構成されています。最大600mm×600mmの基板に対応する大型チャンバーと汎用性の高いマウント設計を特徴としています。Vacuum DESK IIは1 x 10-7 Torrの基圧に達することができ、チャンバーには運転中にチャンバをロックするための絶縁弁が装備されています。このユニットには周波数変調電源コントローラが搭載されており、最大2000W/マグネトロンの高精度で制御可能なパワーレベルを最適化できます。マグネトロンは平面X-Yマウントに取り付けられており、位置と傾斜角度を調整することができます。傾斜角度の設定により、基板上の材料の均一な堆積のためにスパッタリングターゲットを様々な方向に導くことができます。Vacuum DENTON VACUUM DESK IIには、特許取得済みの超高速シャッターマシンも搭載しており、迅速なスパッタリング操作が可能です。デジタルRF保護回路が含まれており、動作中の電気干渉のリスクを低減します。このツールには、操作を容易にするためのリモートコントロールも含まれており、生産ニーズを高めるために他のVacuum Deskシステムと組み合わせて使用することができます。それは手動または自動化されたシステムの使用のために設計され、製造されます。Vacuum DESK IIは、様々な金属、酸化物、窒化物の高性能スパッタリング成膜を実現します。実験室での研究や生産設備での使用に適しています。この資産は信頼性が高く、安定した堆積プロセスを提供し、半導体業界の過酷な生産環境に最適です。Vacuum DENTON VACUUM DESK IIは、高度な機能セットにより、さまざまなスパッタリング用途に最適です。
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