中古 DENTON VACUUM DESK I #9163474 を販売中

DENTON VACUUM DESK I装置は、非導電基板と導電基板の両方に薄い金属膜を堆積させるために設計された強力な真空スパッタリングシステムです。真空スパッタリングと電子ビーム蒸発の両方を1つのチャンバーに内蔵したハイブリッドユニットです。金属、合金、酸化物から様々な材料を堆積することができる柔軟性の高い機械です。このツールは、真空チャンバーと電子ビーム蒸発器の2つの主要な部品で構成されています。真空チャンバーは、プロセスゾーンとプレチャンバーの2つのゾーンに分かれています。プロセスゾーンは、堆積が行われる場所です。このアセットには、RF駆動のマグネトロンスパッタ源、6つの電子ビーム源、1つのマグネトロンシャッターが装備されています。プレチャンバーはプロセスゾーンの入り口であり、2つの粗いポンプ、2つの粗いバルブ、およびゲートバルブが含まれています。これは、プロセスゾーンに入る前に良質のチャンバー圧力を維持するのに役立ちます。このモデルには、高度な制御装置も含まれています。このシステムは、ユーザーがプロセスのさまざまなパラメータを設定できるようにすることで、さらなる柔軟性を可能にします。また、ユニットを監視および制御するためのユーザーフレンドリーなインターフェースも備えています。この制御装置を使用すると、圧力、温度、蒸着時間を監視し、ガスの流れ、基板バイアス電圧、ビーム電流などのプロセス変数を制御することができます。DESK Iツールは、薄膜成膜、多層構造の作成、保護コーティングなど、幅広い用途に最適です。このスパッタリングアセットは操作が簡単で、高品質のフィルムを提供します。さらに、費用対効果が高く、反復可能な結果を保証します。このモデルには多くの安全機能が装備されており、作業中もユーザーと環境が安全に保たれます。