中古 CVC SC 4000 #9106193 を販売中

CVC SC 4000スパッタリング装置は、大面積コーティング用途に設計された強力な真空蒸着ツールです。このシステムは、高度な3チャンバ設計を備えており、大きな基板における高スループット成膜プロセスと均一なコーティングを可能にします。独自のマグネトロンスパッタリングカソードを使用して、均一なコーティング速度と高品質の表面仕上げのための正確な層の厚さ制御を提供します。SC 4000は、幅広い温度、圧力、寸法にわたって安定した蒸着プロセスを提供するように設計されています。CVC SC 4000の2つのコンポーネントチャンバーは、高い蒸着速度を実現するように設計されています。メインチャンバーには、基板を簡単に切り替えるための負荷/アンロードロボットを備えたクアッドコラム段が装備されています。このチャンバーは、最大4つの基板ウエハサイズ、最大203mmの直径を収容することができます。メインチャンバーでは、基板はロボットによって所定の位置に保持され、その後、均一な薄膜沈着が可能な加工領域に輸送されます。二次的な「クリーン」チャンバーは、堆積されるフィルムの最適な品質を確保するように設計されています。静電気中和装置、反応ガス供給システム、安定したフィルム成長のための制御環境を備えています。このチャンバーはまた、ユニット内の基板に簡単にアクセスするための取り外し可能なベルジャーを備えています。SC 4000スパッタリングマシンはまた、特定の用途のためのコーティングの範囲を提供しています。それはいろいろ技術の酸化物、窒化物、炭素および金属のコーティングを作り出すことができます。これには、従来のスパッタリングプロセスだけでなく、プラズマ強化化学蒸着、またはPECVDが含まれます。CVC SC 4000スパッタリングツールは、最高品質のコーティング用途に最適です。SC 4000は、高度な3チャンバー設計と幅広い技術を備えており、大面積の基板に効率的な成膜プロセスを提供し、均一で高品質な完成品を生み出すことができます。