中古 CVC CVC cathode #9124372 を販売中

CVC CVCカソードは、材料に薄膜コーティングを堆積するように設計されたスパッタ装置の一種です。これは、並列に接続されているカソードのペアを使用して、基板に向かって高エネルギーのアルゴンイオンを電磁的にコイルし、表面に均一な層を作成します。このプロセスは陰極アーク沈着として知られています。デュアルCVC CVC配置により、従来のスパッタリングシステムよりもはるかに高い蒸着速度を実現し、大型基板やその他の大容量プロジェクトへのコーティングに最適です。CVCのCVCシステムは2つのモードで作動させることができます：一定した電圧陰極アーク（CVC）および一定した流れの陰極アーク（CCC）。CVCモードでは、このユニットは電極に一定の電圧を印加することで動作し、より高い安定した蒸着速度を実現します。CCCモードは定電流を印加することで動作し、蒸着速度とプラズマ密度をより良く制御できます。CVC陰極機械は複数の部品で構成されます。高電圧の電源を使用して、2つの電極の間に望ましい電位を適用します。サポートプレートは電極と基板を所定の位置に保持します。プラズマは電極間に発生し、両方とも統合冷却ツールによって冷却されます。最後に、ハウジングは資産をカバーし、一定の温度と圧力を維持するために使用されます。CVC CVCカソードは、従来のスパッタリングシステムよりもいくつかの利点を提供します。高い成膜率で薄膜を堆積させることができ、優れたフィルム品質を実現します。また、成膜速度やプラズマパラメータの制御においても様々なオプションが可能で、幅広い用途に適しています。さらに、高エネルギーのアルゴンイオンを使用することで、表面のエッチングに特に効果的です。結論として、CVCカソードは、薄膜コーティングの堆積のための効果的で汎用性の高いスパッタリング装置です。CVCモードとCCCモードの両方で高い蒸着速度と優れたフィルム品質を提供し、プラズマパラメータを簡単に制御することができます。これにより、エレクトロニクスやオプトエレクトロニクスから装飾および自動車まで、さまざまな業界のアプリケーションに最適です。