中古 CVC AST 400 #126819 を販売中

CVC AST 400
製造業者
CVC
モデル
AST 400
ID: 126819
ウェーハサイズ: 6"
Sputtering module, 6".
CVC AST 400スパッタリング装置は、さまざまな材料でオブジェクトをコーティングするための画期的な新しいシステムです。高真空チャンバー、陰極配線および接点、RF RF電源、中央真空ポンピングユニットで構成されています。AST 400のスパッタリング機械はいろいろな基質の金属または他の材料の薄い層を沈殿させることができます。CVC AST 400の真空チャンバは、スパッタリング処理に超高真空環境を提供するように設計されており、基板に損傷を与えることなく薄い層の材料を基板に堆積させることができます。チャンバーには高真空および高速サイクリングバルブが装備されており、0。001 torrの基圧に達することができます。このチャンバーには、スパッタリングプロセスを制御するためのアルゴリズム駆動のガス混合ツールもあります。アセットの高効率RFジェネレータは、材料沈着速度を変化させるために使用できる制御された調整可能なRF電源を提供し、正確な層の厚さを提供します。このジェネレータには、RFパワーがスパッタリング中に一定のレベルで安定して維持されるように、ハイデカリティ、低ノイズアンプが装備されています。このモデルは、真空チャンバーが効率的なスパッタリングに最適な圧力を維持することを保証する高度な中央真空ポンプ装置を備えています。真空ポンプは、0。001 torrまでの圧力を達成することができる調整可能な流量を備えた高精度のターボ分子ポンプで構成されています。ポンピングシステムは、メンテナンス時間とコストを削減するように設計されています。全体的に、AST 400スパッタリングユニットは、さまざまな基板に薄い層の材料を堆積するための画期的な機械です。このツールは、メンテナンスコストと時間を削減しながら、優れた結果を提供するように設計されています。高効率RFジェネレータは一貫したスパッタリング結果を保証し、中央の真空ポンピングアセットは最適な圧力を維持します。
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