中古 CVC 611 #61091 を販売中
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CVC 611は金属および非金属基板に薄いコーティングを堆積するように設計されている高性能のマグネトロンスパッタリング装置です。このシステムは、他の標準システムよりも高速で効率的な方法で、優れた均一性と品質を持つ電気的および熱伝導性または光学コーティングの両方を堆積するために使用することができます。このユニットは革新的な先進的なムーブメントマシンを備えており、工具のダウンタイムを減らしながら堆積面積を増やすことができます。このアセットには、高周波AC電源入力と接地電極を使用して優れた電気的および熱均一性を生み出す高度な反応スパッタリング源が装備されています。反応スパッタリング源は、2つのユーザーがアクセス可能な回転ターゲットとペアリングされ、様々な材料を堆積する際のさらなる柔軟性が得られます。反応スパッタリング源の調節可能な周波数範囲は、幅広い金属および合金に最適な蒸着特性を保証します。このモデルには、4つのポンピングポートと2つのビューポートを含む標準コンポーネントを備えた真空チャンバがあり、プロセスをリアルタイムで監視できます。特許取得済みの二軸自動移動装置により、基板への容易なアクセスと蒸着精度の向上が可能です。自動化されたムーブメントシステムにより、均一性と再現性が保証されます。このユニットは、粗い表面からガラス、さらにはシリコンまで、さまざまな基板と互換性があります。このマシンには高度な診断機能と品質監視機能が装備されており、ユーザーはプロセスパラメータを調整し、堆積層の成長をリアルタイムで監視することができます。低分圧、低圧センサ、実績のあるセラミック排気ツールにより、堆積に最適な条件を提供します。高度なユーザーインターフェイスにより、資産パラメータを迅速かつ簡単に制御できます。611は信頼性とプロセス品質を念頭に置いて設計され、設計されています。絶縁性に優れ、熱機械的特性に優れているため、ダウンタイムを最小限に抑えながら最適な設備性能を維持し、効率を高めることができます。CVC 611は、わずかな時間で優れたコーティング品質を提供するための完璧なシステムです。
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