中古 CVC 2800 #9054640 を販売中

CVC 2800スパッタリング装置は、ケンブリッジ真空コーティングの最先端の高性能インライン蒸着システムです。このユニットは、さまざまな材料を多くの基板に堆積させるために設計されています。これは、プロセスの統合と自動化のために必要に応じて簡単にカスタマイズできるモジュール設計アプローチを利用しています。2800工具の中央操作機は、2つのスパッタリングチャンバーとコーティングチャンバーで構成されています。各スパッタリングチャンバーには、4つのマグネトロン源と4つの基板が装備されており、蒸着速度とスループットを最大化します。コーティングチャンバーには、基板温度制御を改善し、薄膜の成長を最適化するために、熱酸化チャンバーが取り付けられています。プラズマは、陰極源のペアードフィラメントアセットを介してスパッタリングチャンバーで生成されます。これにより、陽極源まで電子を加速する電子銃が生成され、発光放電が発生します。コーティング室では、遠隔制御された電圧供給によって高密度プラズマが生成され、基板の横にイオン化された分子の熱い層が残されます。スパッタされた材料は、基板上に凝縮します。CVC 2800スパッタリングモデルは、さまざまなコーティング用途に適したいくつかの機能を備えています。これらには、手作業によるチャンバー間の制御、基板と陰極のソースパラメータの自動制御、汎用性の高い測定スイート、および堆積可能な幅広い材料の上に使いやすいオートメーションレイヤーが含まれます。さらに、2800の機器は、高真空と高速ポンプ速度で動作することができます。これらのすべての機能により、CVC 2800スパッタリングシステムは、高精度、再現性、および高スループットで薄膜成膜を実現するための理想的な選択肢となります。このユニットは、医療機器、センサー、ディスプレイ、オプトエレクトロニクスなど、さまざまな産業用蓄積に適しています。