中古 CVC 2800 #293750058 を販売中
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CVC 2800は薄いフィルムおよびコーティングを沈殿させるように設計されているスパッタリング装置です。金属、半導体、誘電体など幅広い材料に対応できる高性能スパッタリングシステムです。低速から超高速まで幅広い成膜速度が可能で、フラットパネルディスプレイ、光学コーティング、医療用インプラントなど様々な用途に使用できます。2800は広い区域で均一な沈殿を要求する多くの適用にとって理想的である屋外の単位です。デュアルソース機能を備えているため、2種類のターゲットを同時に使用でき、優れた均一性を実現します。リニア避難室を採用し、高い沈着率、優れた均一性、低汚染を実現しています。ロードロックプロセスは、すべての基板が汚染を最小限に抑えて機械に入ることを保証し、オープンエアのチャンバー設計により、複数のサンプルホルダーと基板を使用することができ、生産性が向上します。CVC 2800にそれを理想的なスパッタリングツールにする多数の特徴があります。圧力と電力レベル、蒸着時間、ガスの流れなど、プログラマブルなプロセスコントロールの強力なセットがあります。チャンバー内の過剰なガスや粒子を排除する自動ガスパージサイクルと、自動負荷/アンロードサイクルを備えています。自己制御圧力と温度制御を備え、リアルタイムのプロセスデータとアラームを提供するアセットモニターを備えています。2800は400 x 400 mmまでのサイズの基板を処理することができる非常に適用範囲が広いモデルです。バッチまたはインライン統合のために構成することができ、多様な製造、R&D、サービスアプリケーションに適しています。市場で最も高性能で信頼性の高いスパッタリングシステムの1つであり、あらゆるタイプの堆積ニーズに適しています。その多くの機能と利点で、CVC 2800は、優れたスパッタリング装置であり、高品質で一貫した成膜結果を提供するために信頼することができます。
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