中古 CPA / KURDEX XM2000 #9096616 を販売中

CPA/KURDEX XM2000は、金属の薄膜を基板に堆積させるために使用されるスパッタ装置です。スパッタリング処理は、真空チャンバーに複数のターゲットを配置した後、電気や磁気などのエネルギー源を使用して、イオンがターゲット材料を爆撃し、原子を分解して基板に堆積させるために完了します。CPA XM2000は、高度な円筒形場マグネトロン（CFM）構成を組み込んだ汎用性の高い産業用グレードのシステムです。これにより、目的のコーティング層を作成するために、複数のターゲットを同時かつ効率的にスパッタすることができます。複数のターゲット構成は、単一のターゲットスパッタリングシステムで発生する可能性のある酸化を低減するのにも役立ちます。KURDEX XM2000は、独立して高さ調節可能で、異なるサイズの複数のターゲットをサポートすることができ、スパッタリングプロセスの最大のカスタマイズを可能にする3つのターゲットホルダーアセンブリの合計を持っています。ウェーハレベルのチャンバーモーター、自動リフトガスインレット、自動リフト基板ヒーターなど、高度な制御機能を備えており、蒸着プロセスで最高レベルの精度を確保しています。XM2000機械には、高精度マスフローコントローラを含む高度なプロセスモニタリングツールが装備されています。デジタルコントロールパネルは、ナビゲートしやすい設定と読み出しを提供し、ユーザーが特定のニーズに合わせてスパッタリングプロセスをカスタマイズすることができます。さらに、この資産には、適切な動作とピーク性能を確保するための自動ドライブメンテナンスと環境監視ルーチンが付属しています。全体として、CPA/KURDEX XM2000は効率的で汎用性の高いスパッタリングモデルです。その印象的な機能と高度な設計の配列は、基板上の金属の薄い層を正確かつ正確に迅速かつ確実に堆積させることができます。堅牢な構造、高精度のプロセス監視、カスタマイズ可能な設定により、CPA XM2000産業用途に最適です。