中古 CPA / KURDEX MRS-3 #9226503 を販売中

CPA/KURDEX MRS-3スパッタリング装置は、さまざまな産業用途向けの高性能で信頼性の高いバイアスパッタリングシステムです。スパッタリング用途に適した各種素材でコーティングの開発・補修に使用されます。沈着速度を最適化し、プロセスのスループットを向上させ、基板の損傷を低減するように設計されています。CPA MRS-3は、3つのセラミックターゲットホルダーを収容できる3チャンバーマシンです。スパッタプロセスでは、クラスタ、静電チャック、磁気サセプターなど、さまざまなカソード構成を使用できます。KURDEX MRS-3の大きい、有効なスパッタリング区域は沈殿させたフィルムの質が高いことを保障します。また、様々なモニタリングシステムを備えており、堆積プロセスの各段階のプロセス制御データを提供します。ターゲットホルダーは、調整可能なサスペンション機構を備えており、ユーザーは正確にターゲットを配置することができます。これにより、ターゲット沈着の最適化された均一性が得られます。内部チャンバーを避難させるために不活性ガスの流れを使用することは、蒸着プロセス中の圧力を制御し、凝縮可能な蒸気の蓄積を防ぐのに役立ちます。MRS-3は、ユーザーがプロセスを正確かつ正確に制御および監視することを可能にするさまざまな自動システムを備えています。基板の積み降ろしを自動化するマイクロコントローラ、コンピュータ制御のプロセスコントローラ、蒸着速度を調節するクローズドループツールを備えています。バイアスパッタリングプロセスにより、さまざまな基板上で高品質で均一なフィルムを得ることができます。このアセットは、一般的にスパッタリングに関連する基板損傷を最小限に抑えるように設計されています。また、安定した高いスパッタ速度を維持することができ、プロセスのスループットの最高度を保証します。CPA/KURDEX MRS-3は、さまざまなコーティング用途に使用できる効果的で信頼性の高いスパッタリングモデルです。この装置は、さまざまな材料や基板と非常に一貫した結果を提供することができ、スパッタ蒸着のための信頼性と経済的な選択肢となります。