中古 CPA / KURDEX 9900 #9035090 を販売中

CPA/KURDEX 9900は、薄膜蒸着、拡散バリアコーティング、保護コーティング、光学コーティングなどの用途向けに設計された、汎用性の高い物理蒸着（PVD）スパッタリング装置です。最大4つのスパッタターゲット、マグネトロンスパッタリング、または平面ソースを備え、複数の表面で同時にスパッタリングすることができます。このシステムには、サンプリングおよび堆積パラメータを正確に制御するための非接触、完全にコンピュータ化されたサンプルステージが装備されています。また、すべてのプロセスパラメータを監視および制御するためのPLC （Programmable Logic Controller）も含まれており、高解像度の石英コントローラを追加することで、精密測定と精密スパッタリングが可能です。CPA 9900は、半導体および強磁性コーティング業界における幅広い制御およびデータロギングのニーズに完全に自動化されたソリューションを提供します。MATLAB、 AutoCAD、 LabViewなど、多くのソフトウェアパッケージと互換性があります。スパッタリングにはUHVモードと高真空モードの両方を使用し、高エネルギー、低エネルギー、不活性ガス蒸着などの複数のソースを使用することができます。KURDEX 9900は、63mm円形スパッタリングターゲットを使用することで、表面の均一性とフィルム品質を向上させることができます。また、一定のスパッタ深度調整機能により、均一なスパッタターゲット面を実現しています。このマシンは、スパッタレートの設定から膜厚の設定まで、すべてのプロセスパラメータを容易にするためのPLCを備えています。このマシンは使いやすく、手動またはオプションの自動チューニングソフトウェアで操作できます。オートチューニングソフトウェアは、より正確で継続的なスパッタレート調整、ならびに酸化防止ガスの自動配信を可能にします。このツールはまた、洗浄および堆積プロセスの各ステップのデータを記録することができます。9900は、製品の長期的なパフォーマンスを向上させることができ、成分の広い範囲で非常に均一で欠陥のないコートを作成するための効率的なツールです。CPA/KURDEX 9900スパッタリング資産は、薄膜の堆積のための信頼性が高く、正確で、堅牢なツールであることが証明されています。