中古 CPA / KURDEX 9900-1 #9212051 を販売中

CPA/KURDEX 9900-1装置は、さまざまな材料の堆積のために設計されたデュアルガンのスパッタリングシステムです。導電性および絶縁膜、薄膜、カーボンフィルム、セラミックフィルム、酸化物および窒化物、および金属および合金を日常的に堆積させることができます。ユニットは、手動または自動、フットペダル制御操作のために構成することができます。CPA 9900-1マシンは、高出力、2つの銃スパッタリング源を提供し、実績のある信頼性の高いRF（無線周波数）ガットソースを使用して、一貫した制御された蒸着速度と均一な膜厚を可能にします。DCスパッタとリアクティブスパッタエッチングモードの両方で動作し、パルスモードを備えているため、スパッタレートとフィルム組成を非常に正確に制御できます。工具の動作圧力は、高真空から超高真空レベルまでの範囲で、1つの資産で最大10のターゲットと10のソースで使用できます。このモデルには、標準の水晶モニターと、フィルムの厚さと組成を正確に監視および制御するためのオプションの光学分光計が付属しています。これは、磁気および運動スパッタリングを提供し、最大8インチターゲットを備えており、ターゲットの回転速度と傾き角度が変化するため、均一性とカバレッジが向上します。また、最大10インチのウェーハを搭載できるカセットボート、卓上真空搬送ロボットを搭載し、生産性を向上させています。KURDEX 9900-1は、高解像度のグラフィカルディスプレイで、沈着速度やその他のプロセスパラメータを監視するための高度なデータロギングと制御機能を備えています。また、自動起動機能を備えており、改善に重点を置いたワークフローが強化されています。9900-1スパッタリング装置は直感的でユーザーフレンドリーで、ユーザーがリアルタイムでシステムのパフォーマンスを調整および監視できるデータ取得機能の恩恵を受けています。全体的に、CPA 9900-1は信頼性が高く、効率的でユーザーフレンドリーなスパッタリングユニットであり、幅広い材料の一貫した精密で微調整された堆積を可能にするように設計されています。