中古 CPA / KURDEX 9900-1 #9173356 を販売中
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ID: 9173356
Horizontal in-line sputtering system
Entry / Exit load lock:
CPA Chamber
CPA Load lock valve
Load lock chamber 26"
Single pallet operation
12” x 24” Sputter zone
(1) Al Pallet, 15.5” x 25” x .25”
MKS 924 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
Pallet sensors
Process chamber:
CTI CT-8 Cryo pump
VAT Hivac valve
MKS Throttling valve
CTI 8500 Compressor
MKS 972 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
(2) Gas system with VCR gas lines
(2) NUPRO Isolation valves
(2) MKS MFCs for Ar 200 sccm , O2 50 sccm
MKS Variable throttle value
MKS 390 Baratron gauge
Chain drive transport system
AE Pinnacle+, 5 kW DC power supply
With sync cable
(4) CPA Process chambers:
(6) CPA 4.75” x 15” DC Magnetron assemblies
(6) Targets shielding
(1) CPA Process chamber
Oven run
Control system:
Opto-22 PLC
Monitor-simple PLC
Manual and auto control modes
Recipe control
(2) Stepper motors
I/O Wiring
SMC Soleniod block
UL Approved power box with EMO
CPA Optical pallet sensing system
With controller and sensors
RGA:
LEYBOLD Transpector
Installed with isolation valve
Dry pump.
CPA/KURDEX 9900-1スパッタリング装置は、薄膜蒸着用途に特化したマグネトロンベースのシステムです。様々な素材のスパッタコーティングに最適な高精度マルチターゲットユニットです。CPA 9900-1は、最大蒸着速度が0。3 °/s、標本間距離範囲が3〜10cm、最大基板サイズが9インチです。また、正と負の両方のターゲットをスパッタリングすることができます。自動化されたアルゴンイオン源で駆動され、特別な超高真空（UHV）トリプルターゲットマグネトロンスパッタリングガンが装備されています。KURDEX 9900-1は、操作性に優れたタッチスクリーンディスプレイ、安全性に配慮した完全封止設計、ターゲット監視用のLEDディスプレイなど、さまざまな機能を備えています。このツールにはさらにPLC （Programmable Logic Controller）が装備されており、資産のスパッタリングプロセスを最適化し、正確に制御できます。また、自動化された生産ラインに組み込むことができ、パターン化された薄膜のスパッタコーティングを高速かつ効率的に行うことができます。9900-1は、高出力で特別に設計されたプラズマ発生器を使用して、最適なスパッタリング条件を作成します。この装置のスパッタリングパラメータは非常に調整可能で、最適な結果を得るためにプログラムすることができます。最大プロセス温度範囲は0〜1000˚Cで、最大出力は8kWです。このシステムには、安全性と信頼性を確保するために、水冷シールドが装備されています。CPA/KURDEX 9900-1は、高性能の薄膜成膜アプリケーションに最適です。その卓越した精度とスピードにより、様々な材料で迅速かつ効率的にスパッタコーティングするのに適しています。ユニットには、オペレータと基板を潜在的な干渉から保護するためのいくつかの安全および監視機能も装備されています。CPA 9900-1は、高精度で高性能なスパッタリングアプリケーションのためのアクセス可能で費用対効果の高いオプションです。
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