中古 CELLO Ohmiker-90BS (S006) #9309189 を販売中

CELLO Ohmiker-90BS （S006）は、エレクトロニクスから光学、フォトニクスまで、さまざまな業界の薄膜蒸着研究用に設計されたスパッタリング装置です。このシステムは、スパッタリングチャンバー、イオンソース、ロードロック、電気制御キャビネット、およびDCスパッタリング電源で構成されています。CELLO Ohmiker-90BSの主室壁は304ステンレス鋼で構成されており、耐久性と耐食性に優れています。セミクローズの密閉ポンプユニットを使用することで、スパッタ効率とプロセス安定性を保証します。マグネトロンスパッタのイオン源マシンは、スパッタされる基板に正確なイオン源を提供します。このイオン源は、汚染の少ないクリーンな磁場を提供します。イオン源には、スペース電荷抽出グリッドも装備されており、高いイオンビーム密度を提供します。ロードロックツールは、デュアルマニホールドポンプ機能を使用しており、スパッタリング効率を向上させるための均一で一貫した圧力を提供するように設計されています。ロードロックには産業用グレードのリニアモーションドライブも備えており、基板アライメントの正確なモーションコントロールと正確な調整を提供するように設計されています。この電源は、スパッタリング時に使用される電圧を供給するために使用されるDC電源です。パルスおよびDCパワーマネージメントアセットを備えており、一貫したスパッタリングプロセスを保証します。電気制御キャビネットは、イオン源、電源、および負荷ロックを含むCELLO Ohmiker-90BSのすべての側面を制御するために使用されます。さらに、これらのキャビネットには、モデルの操作に使用されるさまざまなコントローラとリレーがあります。CELLO Ohmiker-90BSは使いやすく設計されており、さまざまなプロセス監視ソフトウェアパッケージと互換性があります。全体的に、CELLO Ohmiker-90BS （S006）は薄膜蒸着研究に最適で、半閉式の密閉ポンプ装置を使用して、信頼性の高いスパッタ効率とプロセス安定性を提供します。ステンレス製のチャンバー壁と産業用グレードのリニアモーションドライブにより、耐久性と精度が保証され、電源とコントローラはスムーズな動作を保証します。さらに、さまざまなプロセス監視ソフトウェアパッケージとの互換性により、CELLO Ohmiker-90BSはさまざまな業界にとって理想的な選択肢となります。