中古 CASON TCB 10 #155369 を販売中

CASON TCB 10装置は、さまざまな材料をコーティングするために設計された高性能DCスパッタリングシステムです。可変圧力、温度、パワーを備え、最大8箇所で複数のターゲットをスパッタすることができる汎用性の高いコーティングユニットです。TCB 10は、基板をチャンバに導入できる完全自動ロードロックマシンで構築されています。また、デジタルコントローラを備えており、ツールの適切な定常動作を保証します。このアセットは、直径12インチまでのターゲットをスパッタすることができる10ターゲットのスパッタリングセルを備えており、真空互換性は8x10⁻⁵ torr （1.3x10⁻¹¹ヘレコメータ）までです。CASON TCB 10は強力な電源を使用して、スパッタリング用の優れたDC波形を作成します。これらの電源は電流と電圧に合わせて調整可能で、電力、温度、圧力を制御できます。さらに、このモデルには、ArおよびXeスパッタガスの両方のための調整可能なガス流量制御装置もあります。このコーティングシステムは、各コーティング後にチャンバーから自動的に沈着を除去するセルフクリーニング機構も備えています。これにより、ユニットは時間をかけてその性能レベルを維持し、均一な膜厚を確保するのに役立ちます。この汎用性の高いコーティング機は、チタン、銅、クロムなどの金属をスパッタするために、とりわけ使用することができます。それはまたITO、 MgO、 AL2O3および他の酸化物をスパッタするのに使用することができます。TCB 10は、直径300mmまでのウェーハやセルや基板にコーティングする機能を備えています。CASON TCB 10は、信頼性の高い効率的なDCスパッタリングツールを探すときに最適なソリューションです。ハイエンドの機能により、柔軟で信頼性の高いコーティングプロセスを提供し、あらゆるコーティングのニーズに最適です。