中古 CANON / ANELVA SPF-730H #293660536 を販売中

ID: 293660536
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
Sputtering system, 6" Non-SMIF Type Main body Pump Display Pump line box Cables box Pump cover Spare parts (2) Control cabinets Air pressure: 6-8 kgf/cm² Water volume: Main body: 2kgf/cm², 6 L/min Attached: 2kgf/cm², 5 L/min Power supply: AC200 V, 60 A, 3-Phase 1996 vintage.
CANON/ANELVA SPF-730Hは最先端のスパッタリング装置で、より小さなフットプリントで高度なスパッタリング機能を研究者に提供するよう設計されています。このスパッタリングシステムは、効率的なDC制御スパッタリングプロセスと高度な電源技術と、簡単で直感的な操作を可能にする人間工学に基づいた設計を組み合わせています。全体的なユニットにより、スパッタリング結果のスループット、精度、再現性が向上します。スパッタリングマシンは、メインボディと磁場という2つのメインサブシステムで構成されています。本体にはスパッタ源、真空ツール、コンピュータ制御アセットが収納されています。スパッタ源は2つのツインマグネトロンで構成されており、高効率のDC制御マグネトロンスパッタリング処理が可能です。拡散ポンプとターボ分子ポンプで構成される真空モデルは、安定した低圧真空環境下でスパッタリング処理を確実に行うことができます。コンピュータ制御装置は、電源電流、電圧、波形などのスパッタリングパラメータを正確に制御および調整することができます。このシステムはまた、スパッタ源の周りに配置された一連のクロスされた永久磁石からなる磁場アレイを備えています。これにより、ターゲット材料の均一なスパッタリングと方向制御が可能になり、スパッタされた材料が均等に分布し、基板からドリフトしないようにします。キヤノンSPF-730Hスパッタリングユニットは、高精度、再現性、信頼性の高い結果を必要とするスパッタリング用途に最適です。高度なスパッタリングプロセス、複数の機能、ユーザーフレンドリーな設計を備えたこのスパッタリングマシンは、スパッタリングニーズの信頼性の高いソリューションを探している研究所や研究機関に最適です。
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