中古 CANON / ANELVA SPF-730 #9284116 を販売中

CANON/ANELVA SPF-730は、薄膜成膜、成膜、顕微鏡分析、計測、トライボロジー、サンプル調製など、さまざまな用途に使用できるスパッタリング装置です。CANON SPF-730は24「直径、24」の長いステンレス鋼のプロセス部屋を特色にし、10^-5 Torrの真空の下で動くように設計されています。ガスインレットを内蔵し、8個分の結晶ターゲットホルダー、均一なマグネトロンスパッタリング用の単点磁石を装備しています。スパッタリングシステムは、最大出力レベルの2kWを持ち、動作周波数は100W〜1。2kWです。また、100 mAまでの12の調整可能な電流範囲と5つの回転シフト設定があり、スパッタリングプロセスを正確に制御できます。ユニットのチャンバーは、直径12インチ、重量40ポンドまでのサンプルに対応するように設計されています。また、サンプルホルダー、カッター、トーチ、顕微鏡などの外部ツールにもアクセスできます。より厚い沈殿のための機械に小型炉および温度調節器を取付けることができます。ANELVA SPF-730には、エッチングチャンバー付きプラズマツール、サセプター制御RFプラズマソース、RFマッチングネットワーク、マグネトロンスパッタリング用コントローラが内蔵されています。このアセットには、プロセス開発または研究中に成膜を監視するための赤外線検出器を装備することもできます。SPF-730は、幅広い用途に適した信頼性の高い効率的なスパッタリングモデルです。使いやすい制御装置と広範な機能により、研究室、薄膜蒸着、サンプル調製、計測に最適です。