中古 CANON / ANELVA SPF-730 #9031246 を販売中

キヤノン/ANELVA SPF-730は、さまざまな薄膜用途に使用されるスパッタリング装置です。これは、スパッタリングのプロセスの広い範囲に適しており、金属や誘電膜などの材料を堆積するために使用することができます。キヤノンSPF-730は、高いスループット率で、広範囲にわたって正確かつ均一な蒸着を提供することができます。このシステムは、マルチマグネトロンスパッタリング（MMS）技術に基づいており、最適化されたスパッタリング方法でさまざまな領域にわたって耐久性と均一なコーティングを作成することができます。ユニットは、堆積層のより良い均一性を達成するのに役立ちますユニークなモジュラーチャンバー設計を備えています。ANELVA SPF-730には、上部に1つ、下部に1つの2つのマグネトロンがあります。この機械は陰極アーク蒸発技術を使用して、基板に向かって加速されるエネルギーイオンを放出します。高い蒸着効率とスピードで大型基板においても均一な堆積を実現します。マグネトロン電源を独立制御し、底面と上面の両方の磁石を制御するRFジェネレータで構成されているため、層の均一な堆積を提供します。このツールには、基板の手動ロード/アンロードに役立つ2つのエレベーターが含まれています。SPF-730のガス供給資産には、アルゴン（Ar）と酸素（O2）ガスの2つの独立した供給源が含まれています。2つのガス源を個別に調整して、スパッタ蒸着プロセスを最適化することができます。CANON/ANELVA SPF-730は、チラーユニットを備えており、動作中のチャンバー温度を低く保つのに役立ちます。また、プロセスサイクル、タイミング、ガス流量などの様々なパラメータを設定するのに役立ちます制御ユニットが含まれています。このモデルには、タッチスクリーンのオペレータパネルとLCDディスプレイが含まれており、操作中に機器を監視することができます。このシステムは、低k誘電層から高k誘電層、金属膜、化合物まで、さまざまな種類の薄膜コーティングの製造に一般的に使用されています。半導体ウェハ製造、ハードディスクドライブ製造、ディスプレイ、タッチパネル製造、センサーなど幅広い用途に適しています。キヤノンSPF-730は、さまざまな産業用途において、均一で耐久性のある薄膜を製造することができる高効率スパッタリングユニットです。機械は作動し易く、沈殿プロセスの正確な制御を提供します。