中古 CANON / ANELVA SPF-710H #157670 を販売中

CANON/ANELVA SPF-710Hは、薄膜成膜および金属化プロセスで使用されるハイエンドの分析スパッタリング装置です。それは生産および大規模な研究開発の適用の使用のために設計されています。このシステムは、スパッタ源、基板ヒーター、駆動アセンブリ、真空チャンバー、コントロールパネル、排気ユニットなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。キヤノンSPF-710Hスパッタ源は、低圧チャンバーとタングステンターゲットを備えています。ANELVA SPF-710Hは、無線周波数（RF）グロー放電を使用してターゲットを蒸発させる従来のスパッタ源とは異なり、イオンスパッタリングを容易にするために直流（DC）バイアス電圧を使用します。これにより、放射均一性とスパッタリング率が向上します。基板ヒーターは、蒸着中の基板の温度を維持するように設計されていますが、ドライブアセンブリは位置決めと基板の動きを正確に制御します。SPF-710Hの真空チャンバーは、高級ステンレス鋼で構成されており、8インチまでの基板の広い領域を備えています。強力な真空ポンプは、高貴なガス供給機と組み合わせて、チャンバー内の真空の高度を維持します。これにより、高速かつ効率的な薄膜蒸着が可能です。CANON/ANELVA SPF-710Hのコントロールパネルは非常に洗練されており、ツールのさまざまな機能やパラメータを正確に制御できます。これは、直感的なグラフィカルインターフェイスが含まれており、一般的に使用される動作条件で事前にプログラムされています。さらに、危険なガスや電気ショックからユーザーを保護するためのさまざまな安全機能が含まれています。最後に、キヤノンのSPF-710Hには、スパッタリングされた粒子やガスを迅速かつ効率的に排出するための強力な排気資産が含まれています。これは、汚染を低減し、安全で健康的な作業環境を維持するのに役立ちます。要約すると、ANELVA SPF-710Hは、広範囲の薄膜成膜および金属化アプリケーションに適した包括的でハイエンドの分析スパッタリングモデルです。スパッタソース、基板ヒーター、ドライブアセンブリ、コントロールパネルなど、その洗練されたコンポーネントは、信頼性と効率的な操作のための堅牢なプラットフォームを提供します。さらに、高度な安全機能と強力な排気装置は、安全で汚染のない作業環境を確保します。