中古 CANON / ANELVA SPF-540H #9053829 を販売中

キヤノン/ANELVA SPF-540Hスパッタ装置は、さまざまな用途で使用するために設計された精密スパッタ蒸着システムです。高度な設計により、組成、質感、形態などのパラメータを正確に制御することで、さまざまな基板上の薄膜を正確に処理することができます。この独特な機械は上限の研究および生産用具の製造を含む多くのタイプの適用に、使用することができます。キヤノンSPF-540Hユニットには、3チャンバーロータリーマグネトロン、電源、イオン源、スパッタリングターゲット、DC電源、多角形/回転基板ホルダーを内蔵し、成膜工程中に基板を所定の位置に保持する成膜室があります。このユニットには、スピンオンガラスと熱分解ガラスも含まれています。薄膜成膜から大面積モノリシックCVDプロセスまで、さまざまなプロセスで使用できます。この電源は、スパッタリングとイオンの両方のDCパルスの強度を制御するように構成されており、さまざまな出力電圧、電流範囲、およびサイクルレートが可能です。チャンバーは、プロセスの温度を最大1000°Cまで処理でき、ターゲットは基板に対して回転することができます。ロータリーマグネトロンは基板全体に均一な蒸着を提供することができ、イオン源は様々な蒸着プロファイルにプログラムすることができます。沈殿物は沈殿プロセスの間に基質で監視することができスパッタリング源はいろいろな構成のためにプログラムすることができます。このツールは、多数の種類の監視ソフトウェアとも互換性があり、プロセスの簡単でリアルタイムの監視を可能にします。さらに、リモートでANELVA SPF-540Hを操作することも可能です。つまり、資産を遠隔地から監視および制御することができます。全体として、SPF-540Hは強力で汎用性の高いスパッタ蒸着モデルです。さまざまな用途に適しており、さまざまな基板上の薄膜を正確に処理することができます。その高度な設計と遠隔地から監視および操作する能力は、さまざまなユーザーにとって理想的なツールです。