中古 CANON / ANELVA SPF-430 #9122965 を販売中

CANON/ANELVA SPF-430は、CANONとトヨタセントラルリサーチラボが共同開発した多機能スパッタリング装置で、超高真空と大気圧の両方で基板上に材料を均質かつ方向性の高いコーティングが可能な汎用性の高いツールで、多くの業界で存在感を増しています。CANON SPF-430のチャンバーは容量450リットルで、多層システム、X線ミラー、センサーなど、さまざまなスパッタリング用途向けに設計されています。チャンバー自体はハイブリッド設計で、超高度と大気中のスパッタ技術の両方を提供します。それは熱放散を改善するための統合されたクライオポンプおよびB-DTEの管が付いているステンレス鋼の組み立てられます。ベースプレート、チャンバー、スパッタカソードおよびその他のコンポーネントは、高真空スパッタ操作における最高の性能のために特別に開発され、最適化されています。ANELVA SPF-430は、マグネトロンスパッタリング、SIMS着床、熱蒸発が可能です。長時間連続運転が可能で、裏面スパッタリングが可能です。また、2軸および3軸化学蒸着、基板回転機能をサポートしており、多層システムの製造に特に適しています。このユニットはまた、基板上の堆積物の接着性を向上させるためのユニークな機能を持っています。これは、プレスパッタリングと呼ばれるスパッタリング前にターゲットに高電圧を適用することによって行われ、材料が基板表面により密着することができます。SPF-430には、各スパッタリングプロセスからのデータを記録および保存するコンピュータ制御データ収集機が含まれています。このデータは、ツールの動作とその全体的なパフォーマンスを分析するために重要です。さらに、圧力、温度などのパラメータを監視する安全制御回路を内蔵し、不規則性を検出するとモデルをシャットダウンします。全体的に、キヤノン/ANELVA SPF-430は、多くの表面コーティング用途に適した機能を備えた非常に効率的で有能な多機能スパッタリング装置です。長時間の連続運転と堅牢な安全機能を兼ね備えた幅広い操作を実行できるため、多くの産業プロセスに最適です。