中古 CANON / ANELVA SPF-410H #9048859 を販売中

キヤノン/ANELVA SPF-410Hは、さまざまな基板上に薄膜コーティングを作成するために設計された高精度スパッタ装置です。このシステムは、メインチャンバー、電源、マグネトロンガン、各種検出器の4つの主要コンポーネントで構成されています。主要な部屋は上塗を施してあるべき基質か材料が置かれる部屋です。チャンバーには、不活性ガス供給と真空監視および制御ユニットが装備されています。電源は、プラズマを作成するための電圧を提供するためのコンポーネントです。電源は、スパッタリング処理にプラズマ密度が適切であることを確認するために、一定のレベルに設定されています。マグネトロンガンは、強烈な磁場を作り出す機械内の部品であり、イオンに真空を通過する経路を与えます。様々な検出器は、監視する必要があるプラズマ密度、イオンフラックスおよびその他のパラメータを測定します。このツールは可変電源を備えているため、さまざまな種類のスパッタリングプロセスに適しています。電源は0から2000Vの間で発生でき、DCから120のKHzまで異なった周波数で置くことができます。これにより、反応スパッタリング、イオン蒸着、陰極アーク蒸発などのプロセスで使用することができます。キヤノンSPF-410Hの汎用性により、さまざまな用途に適しています。このアセットの優れた真空およびプラズマ安定性により、光学コーティング、半導体製造、薄膜蒸着などのプロセスで使用することができます。このモデルの高精度により、MEMS、半導体デバイス、光検出器などの精密スパッタリング処理にも使用できます。機器の長期運用は、フィードバックセンサーの配列によって維持されます。これにより、チャンバー圧力を調整して望ましい蒸着速度を維持し、プラズマ密度を調整して汚染を防ぎ、システムの動作を監視するためのターゲットエリアの評価を行うことができます。ANELVA SPF-410Hは、信頼性の高い正確なスパッタリングユニットであることを保証し、幅広い機能を提供します。この機械の強力な電源、優れた真空およびプラズマ安定性、および汎用性の高い検出器は、さまざまな薄膜アプリケーションに適した選択肢です。