中古 CANON / ANELVA SPF-332H #9048858 を販売中

キヤノン/ANELVA SPF-332Hスパッタリング装置は、磁気プラズマ制御技術を使用した、自動化された界面スパッタリングシステムです。これは、最大15 cm×30 cmの面積を持つ非常に高精度のエッチング、成膜、電気めっきジョブ用に設計されています。このユニットは、半導体産業の実験室や生産工場での使用のために設計されています。このマシンには、制御された環境で異なる材料をスパッタするためのマルチプレートのスパッタヘッドを備えたコンピュータ数値制御（CNC）が付属しています。Multiplateスパッタヘッドは、より高いスループットと向上した歩留まりを実現するように設計されています。設計に含まれている磁気シールドは、イオン爆撃を最小限に抑え、粒子が均一な方向にスパッタされることを保証します。このツールには、独自のクローズドループスパッタ電源とプラズマ励起用ヒーターが装備されており、プロセスが非常に再現性が高く正確であることを確認しています。アセットは完全にプログラム可能で、レシピをカスタマイズしたり、カスタムプロセス条件を作成したり、プロセスを簡単に切り替えることができます。高度なソフトウェアとグラフィカルユーザーインターフェイスにより、モデルは高温プロセスの自動化されたリアルタイム制御に使用できます。また、スパッタリング工程を監視するための自動ガス流量調節、スパッタアーク数、光放射分光法（OES）モニタリングシステムも備えています。このユニットには、作業雰囲気の変更や作業環境の汚染を防ぐために必要な時間を短縮するためのロードロックチャンバーが装備されています。これは、プロセスを最適化し、柔軟なサンプル処理を提供するためのユーザーに余分な柔軟性を提供するために10ロードロックを持っています。この機械には、危険なプロセスガスを安全に除去するための排気ツールも含まれています。この資産は、JEDEC、 SEMIなど、世界で最も厳しい規格の多くに準拠しているため、多くの研究所、工業生産ライン、およびその他の高度な研究所での使用に適しています。また、自動車、航空宇宙、医療機器のアプリケーションでの使用にも適しています。全体的に、キヤノンSPF-332Hスパッタリングモデルは、高速で正確で手頃な価格のプロセスを可能にする高度な機能を備えたユーザーフレンドリーなスパッタリング装置です。それは異なった企業のさまざまな高度プロセスのための増加のスループットそして改善された収穫を提供します。