中古 CANON / ANELVA SPF-312W #9031244 を販売中

CANON / ANELVA SPF-312W
ID: 9031244
ヴィンテージ: 1990
Sputtering system Substrate size: 105 x 105 mm Taget: 75 mm Cryo pump 1990 vintage.
キヤノン/ANELVA SPF-312Wは、すでに人気のあるSPF-312シリーズから派生した多機能真空スパッタ装置です。この機械は、磁気記録媒体、電子部品、建築装飾、およびその他の特殊材料などの幅広い薄膜製品の製造用に設計されており、真空中の物理蒸着を使用しています。CANON SPF-312Wは、3軸デザインで設計されており、カスタムおよび市販のコンポーネントの両方を使用できるモジュラーアーキテクチャを使用しています。このシステムの機能には、ロードロック、8目標マグネトロン、およびデュアルスパッタガンが含まれます。マグネトロンスパッタターゲット自体は、5つの「V」形の磁石を持つ単体で構成されています。このデザインは、3つの軸でターゲットの動きの優れた制御性を提供します。スパッタテールは、ターゲット全体に均一なスパッタリングプロファイルを提供しますが、操作しやすい手動調整により、所望のスパッタパワーとスピードを選択できます。スパッタリングに加えて、蒸発やeビーム蒸着など、さまざまな機能を備えています。USBおよびRS-232インターフェイスを含む柔軟な入出力デバイスオプションにより、マシンは非常に汎用性が高く、他の機器やシステムと容易に統合できます。効率的な真空制御ユニットは、低真空環境で10-10 Torr未満の圧力で粒子を保持するように設計されています。さらに、圧力を含むさまざまなパラメータの自動キャリブレーションや、フィルムを製造するための自動プロセスが装備されています。ANELVA SPF-312Wの直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスは、使いやすさのために設計されています。マルチタッチディスプレイスクリーンは、ツールの設定や生産プロセスの制御など、さまざまなパラメータや操作にすばやくアクセスできます。内蔵モニタは、生産状況、圧力、温度に関する有用なグラフィカル情報をリアルタイムで表示します。全体として、SPF-312Wは最も困難なフィルム製品の生産のために設計された多機能スパッタリング資産です。モジュラー設計、ユーザーフレンドリーなインターフェース、広範なプロセス制御機能により、薄膜製造やコーティングプロセスなど、さまざまなアプリケーションでの使用に最適です。
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