中古 CANON / ANELVA SPF-312 #9299212 を販売中

キヤノン/ANELVA SPF-312は、薄膜成膜技術に使用される多機能スパッタリング装置です。このシステムは、スパッタリング、蒸発、反応スパッタリングなどの薄膜蒸着プロセスを正確かつ効率的に制御できるように設計されています。CANON SPF-312は、厚さ、組成、均一性など、フィルム品質の優れた制御を実現するさまざまな機能を提供します。このスパッタリングユニットは、直径300mm x 4インチの円形または正方形の回転陰極ターゲットを備えています。Circularターゲットは、フィルムの品質と効率をより正確に制御するために加熱および冷却されます。ターゲットは、均質なスパッタリング速度を可能にするように調整可能な2段階の磁場に囲まれています。均一なスパッタリング速度は、DCソースとRFソースの組み合わせによって達成され、ターゲットに正確で均一な電力を供給します。ANELVA SPF-312で使用されるガスは、特定の用途に基づいて選択され、Ar、 Ar/O2、 Ar/N2、 Ar/O2/H2、または追加添加剤を含む不活性ガスから構成されます。このマシンはまた、基板で調整可能な圧力のフルレンジを備えています。この幅広い調整可能な圧力により、蒸着プロセス中の圧力を正確に制御できます。SPF-312は、ターゲットのより均一なカバレッジのための乱流を達成するために調整することができるバッフルツールを装備しています。バッフルアセットは、蒸発した材料によってターゲットの侵食から保護するためにも使用されます。このモデルは、最大1,000 °/hrの高速蒸着率が可能で、5％以下の均一性があります。この多機能スパッタリング装置は、パンボード、太陽電池、半導体、液晶、有機ELディスプレイ、ガラス、各種セラミック材料にコーティングを提供するなど、さまざまな用途で使用されるように設計されています。また、適切なプラズマ活性化を使用して、金属やその他の薄膜堆積層を基板上に製造することもできます。また、フィルムの厚さ、組成、特性を制御しながら、複数の薄膜を生成することも可能です。CANON/ANELVA SPF-312は、薄膜成膜プロセスに適した多機能スパッタリングユニットです。調節可能な陰極、磁界および調節可能な圧力によって、それは優秀なフィルムの質および均等性を提供できる信頼でき、強いスパッタリング機械です。