中古 CANON / ANELVA SPF-210H #9382541 を販売中

キヤノン/ANELVA SPF-210Hは、薄膜蒸着プロセス用に設計されたドライスパッタリング装置です。このシステムは、オプトエレクトロニクス部品、フラットパネルディスプレイ、薄膜磁気ヘッドの製造などの用途に最適です。このスパッタリングユニットは、多種多様な材料をスパッタリングすることができる1,000-Wの単一周波数パワーアンプを備えています。機械は10-6 Pa （10-7 Torr）の真空レベルに達することができる高真空の部屋と囲まれています。さらに、全自動アノードアセンブリ、2軸動作のサンプルステージ、無線周波数（RF）発生器、プラズマモニターを備えたキヤノンSPF-210H。これらのコンポーネントはすべて、コンピュータインターフェイスを介して制御されます。アノードアセンブリは、チャンバーに固定された中央棒と4つのカウンタ電極で構成されています。また、粒子生産を最小限に抑えるための水冷機構も備えています。サンプルステージはリニアモーションガイドに取り付けられ、10mm x 10mmの範囲があります。RF発電機は、誘導コイルとLC結合回路で構成されています。これにより、基板や堆積している材料への損傷を最小限に抑えて材料をスパッタすることができます。プラズマモニターは、パワー密度、電子温度、電子番号密度などのプラズマパラメータを測定することができます。これは、資産が均質な堆積プロファイルを達成するのに役立ちます。また、ANELVA SPF-210Hにはアーク損傷防止モデル（ASDS）が搭載されています。この装置は、アーク電圧を低減し、高周波アークを防止することにより、サンプルを損傷から保護するのに役立ちます。SPF-210Hは、様々な成膜プロセスに使用できる信頼性の高い効率的なスパッタリングシステムです。自動化された機能と高度な監視システムにより、使いやすく優れた結果が得られます。これは、あらゆる薄膜蒸着プロセス要件に最適なソリューションです。