中古 CANON / ANELVA SPC-530H #9284126 を販売中

キヤノン/ANELVA SPC-530Hは、各種薄膜成膜用に設計された高性能スパッタリング装置です。このシステムは、電子制御された高周波スパッタリングプロセスを使用して、材料の薄膜を基板に適用します。工具製造や材料研究などの産業分野で優れた性能を発揮するコンパクトで堅牢な設計を特徴としています。キヤノンSPC-530Hには、ターボポンプ式の真空チャンバーがあり、チタン製のスパッタリングターゲットと高性能の電子ビームガンが搭載されています。これにより、材料の高速かつ正確なスパッタリングが可能となり、正確な層厚と均一性が得られます。このユニットは、チャンバー圧力、基板温度、回転速度など、さまざまなパラメータを備えた幅広いアプリケーションで動作できます。ANELVA SPC-530Hは、望ましい層の均一な沈着を保証する特別なメカニズムを持っています。これには、フィルムの厚さ、均一性、均質性を正確に制御するためのパラメータを調整するためのさまざまなツールを備えた仕様駆動コントローラが含まれています。シリコンウェーハ、ダイスタッキング、ガラスディスクなど幅広い基板を搭載しています。SPC-530Hはまた信頼できる基質のローディングのための高精度の段階と来ます。ステージには、手動基板シフトと位置決めのための自動エレクトロリフト機能、および斜め角度コーティングを可能にするモーター付き傾斜機能があります。CANON/ANELVA SPC-530Hは、汚染や環境への影響を低減しながら、コスト削減とプロセス最適化のための高効率ガス使用率も備えています。また、スパッタリング条件をモニタリングする高精度測定装置や、フィルムの成膜後の解析装置も搭載しています。これにより、最小限のエネルギー消費で信頼性の高いプロセス制御が保証されます。CANON SPC-530Hは、薄膜成膜用のコンパクトで包括的な資産で、効率性、コスト削減、信頼性を向上させる幅広い機能を提供します。ANELVA SPC-530Hは、先進的な技術と優れた性能により、業界の高品質な製造に最適です。