中古 CANON / ANELVA SPC-530H #9132153 を販売中

CANON/ANELVA SPC-530Hは、薄膜を様々な用途に使用できるように設計された高性能スパッタリング装置です。システムは容易な取付けおよび操作のために設計されている密集した、険しいです。これは、最適なプロセス性能、信頼性、および効率のための高度な技術を使用して構築されています。CANON SPC-530Hは、2つのマグネトロン源を駆動し、どちらも薄膜蒸着用のガス状のスパッタリングプロセスを磁気的に励起して展開します。ユニット内部には、アーク反応モニターを内蔵した高真空チャンバーがあります。これにより、堆積プロセスの正確な監視が可能になります。高圧処理と低温の両方を管理しながら、高真空を維持することができます。これにより、酸化物、窒化物、金属などの様々な膜の効率的で高速な沈着が可能になります。このツールには、優れたプロセス制御と柔軟性をユーザーに提供する多くの機能が付属しています。これらの機能の1つには、電力変動と基板損失を補正するクローズドループ電源制御があります。これにより、薄膜成膜のより一貫した均一性が保証されます。さらに、スパッタリングプロセス中に信頼性の高い自動圧力制御を提供するオートベントバルブが装備されています。これにより、ダウンタイムを削減し、効率を向上させることができます。ANELVA SPC-530Hスパッタリングモデルには、保護技術も含まれています。この技術は、プロセスのエラー、電源の中断、ガス汚染による機器の損傷を防ぎます。水冷ユニットを内蔵し、熱による損傷を軽減し、効率と信頼性をさらに高めます。この装置は精密なプロセス制御を可能にし、ユーザーは生産能力を最大限に引き出すことができます。高度な機能により、ユーザーは高品質の薄膜成膜を得るために、幅広い成膜パラメータをプログラムすることができます。このシステムは高度に調整可能であり、ユーザーは特定の要件に合わせてフィルムを微調整することができます。要するに、SPC-530Hは薄膜成膜用に特別に設計された高性能で信頼性の高いスパッタリングユニットです。高度な技術を活用することで、優れたプロセス制御と柔軟性を提供します。これにより、最適な薄膜蒸着結果を達成しつつ、生産能力を最大化することができます。