中古 CANON / ANELVA NC-7900 #9236120 を販売中

キヤノン/ANELVA NC-7900は薄膜成膜用スパッタ装置です。堅牢な均一性、高再現性、高解像度のフィルムを製造することができます。このシステムは、高真空室、スパッタ源、プロセスコントローラで構成されています。高真空チャンバー：このユニットには、取り外し可能な蓋を備えたステンレス製の円筒形ボディを備えた高真空チャンバーが装備されています。このチャンバーは、1 x 10-7torrまでのベースプレッシャーに到達することができます。直径25cmのターゲットホールディングディスクを搭載し、内径115mm、高さ400mm。チャンバーにはダブルワイヤーリードが付いているため、両側からのターゲット積載に簡単にアクセスできます。スパッタソース：キヤノンNC-7900スパッタリングマシンには2つのスパッタソースが装備されています。ソースアセンブリは、マグネトロンとハイパワーインパルスマグネトロン（HiPIMS）スパッタリングの両方に効率的な蒸着プロセスを提供します。これらは、DCおよび/またはRF電源によって駆動されます。スパッタソースには、スパッタターゲットの位置を正確に制御するために、高精度のターゲット位置決めシステムも付属しています。プロセスコントローラ：プロセスコントローラはANELVA NC-7900の中心コンポーネントです。これは、コンピュータインターフェイス、データ収集ツール、および事前にプログラムされたプロセス制御ルーチンで構成されています。プロセスコントローラを使用すると、蒸着プロセスをリアルタイムで監視および制御できます。また、堆積中にデータを分析して保存することもできます。NC-7900スパッタリングアセットは、薄膜成膜に使用される高精度なツールです。優れた均一性、高い再現性、優れた機能分解能を備えています。このモデルは、高真空チャンバー、2つのスパッタ源、およびプロセスコントローラで構成されています。装置は精密な制御アクセスの薄膜を作り出すことができ、それは研究者および生産エンジニアのための大きい選択です。