中古 CANON / ANELVA L-350S-C #9053825 を販売中

キヤノン/ANELVA L-350S-Cは、製造プロセスで使用するために設計されたスパッタリング装置です。セラミック、金属、ポリマーなど、様々な材料を製造することが可能なシングルソースのダブルガン機です。自動基板ローディングシステム、パラメータ調整用のデジタルディスプレイ、堅牢な真空ユニットを備えています。デジタル表示装置はユーザーフレンドリーなプログラミングおよび操作を可能にし、スパッタリングプロセスをセットアップし、監視するのに使用することができます。バイアスパワー、スパッタリング力、圧力、温度などのパラメータは、デジタルディスプレイ上で簡単かつ正確に調整することができます。機械には自動ガスフロー制御も装備されており、スパッタリングプロセス全体で所望の圧力とガス流量が維持されます。キヤノンL-350S-Cの自動積載機は、信頼性の高い安定した基板処理を実現します。ローディング機構には、スパッタリングチャンバーに基板を移動させるトラックツールがあります。この機械はまた、特別なプラズマ形成資産を備えており、目的の材料をスパッタするために必要なプラズマの正確な量が適用されることを保証します。また、スパッタリングプロセス全体で安定した圧力とガス流量を維持するための堅牢な真空モデルを備えています。真空装置は、1つの荒削りポンプと2つの高真空ポンプで構成されており、低圧動作と低レベルの汚染を可能にします。真空システムは1 mbarから10-6 mbarの圧力範囲で動作し、1,000°Cまでの温度で動作することができます。ANELVA L-350S-Cは、市場で入手可能な最も信頼性の高いスパッタリングシステムの1つです。高品質な設計、堅牢な真空ユニット、自動基板ローディングマシンにより、半導体製造プロセスでの使用に最適です。また、カスタマイズ性が高く、スパッタリングプロセスを微調整し、高品質な材料を製造することができます。