中古 CANON / ANELVA L-332S-FHL #9048857 を販売中

CANON / ANELVA L-332S-FHL
ID: 9048857
ヴィンテージ: 2001
Sputtering system 2001 vintage.
キヤノン/ANELVA L-332S-FHLは、薄膜の精密かつ効率的な成膜を目的としたスパッタリング装置です。このシステムは、優れたスパッタリング速度安定性と使いやすい操作ユニットを含む機能の組み合わせにより、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、自動車産業のアプリケーションに特に適しています。スパッタリングマシンは、蒸発タイプの二酸化炭素レーザーと、ターゲット上の材料を解放し、堆積するためのRF誘導結合プラズマ源を備えています。また、スパッタリング圧力、蒸着速度、およびその他のパラメータを正確に制御できる高度な制御システムを備えています。このツールは、最大スパッタリング速度が200nm/min、スパッタ角が60°です。このアセットには、さまざまな設定を備えた自動制御回路がアンラージされており、複雑な蒸着操作を容易に行うことができます。このモデルの主な利点の1つは、プロセス時間を大幅に短縮し、スループットを向上させる、高カバレッジ成膜オペレーションを実行することです。また、最大100Hzのスパッタ周波数をサポートする可変電源も備えており、より良い結果を得ることができます。さらに、過熱保護や緊急シャットダウン回路などの安全機能を備えており、部品の損傷を防ぐことができます。また、グリッパー付きのロボットアームを採用し、基板やターゲットへの積み込みも容易です。キヤノンL-332S-FHLは、薄膜を精密に成膜するために設計された高性能かつ効率的なスパッタリングマシンです。その優れたスパッタリング速度の安定性と使いやすさは、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、自動車産業の多くのアプリケーションにとって魅力的な選択肢です。このツールの高度な制御システムと安全対策は、最高品質の薄膜を毎回作成するのに役立ちます。
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