中古 CANON / ANELVA ILC 1060 #9142589 を販売中

CANON/ANELVA ILC 1060は、さまざまな物体や表面に薄膜やコーティングを堆積させるために使用されるハイエンド無線周波数（RF）マグネトロンスパッタリング装置です。様々な金属、誘電体、超伝導膜に対応できる汎用性の高いシステムです。CANON ILC 1060は直流（DC）またはRFスパッタ装置で、スパッタ出力は最大8kWです。電源は12kWのピーク電力を備えています。スパッターガンコントロールは、60チャネルのDC/RFインターロック制御ユニットによって処理され、パワーとスパッタ層の均一な分布を提供することができます。この機械には、空気圧式の4 'x2' x1'真空チャンバーがあり、6ターゲットの超高真空ロードロックツールが必要です。ロードロックアセットにより、最大4 'x2' x1'までの大型オブジェクトを真空を破壊することなく素早くチャンバーにロードできます。ダブルドアエントリーにより、大きなオブジェクトを取り外すことができます。ANELVA ILC-1060には120Hz周波数コントローラが装備されており、金属、誘電体、または超伝導膜を様々な物体に効率的に堆積させることができます。ANELVA ILC 1060の最大動作温度は1000Cです。ILC-1060は非常に汎用性の高いスパッタリングモデルです。特殊な機能により、多種多様なアプリケーションに使用できます。半導体、基板、光電子マイクロデバイス、金属、誘電体、超電導材料に薄膜または保護コーティングを堆積するために使用することができます。プロセスコントロール機能を内蔵しているため、微細なラインや形状の精密エッチングやスパッタリングを行うことができます。また、光学部品、プラズマディスプレイ、マイクロリソグラフィなどの用途向けのナノ構造膜の作成にも優れています。キヤノンILC-1060も耐久性と信頼性に優れています。キヤノンの最先端の真空技術は、汚染のリスクを最小限に抑えながら、一貫してクリーンで均一な膜の沈着を保証します。さらに、頑丈な設計は、ほこりや振動などの環境問題から機器を保護します。ILC 1060は、薄い保護フィルムとコーティングを作成するための非常に強力で汎用性の高いスパッタリングシステムです。CANON/ANELVA ILC-1060は、大型チャンバーサイズ、高度なプロセス制御機能、および信頼性の高い操作により、幅広い産業、実験室、および生産アプリケーションに適しています。