中古 CANON / ANELVA ILC 1060 #9033668 を販売中

CANON / ANELVA ILC 1060
ID: 9033668
ウェーハサイズ: 8"
Sputtering system, 8" Currently stored in a warehouse.
キヤノン/ANELVA ILC 1060は、金属、合金、および精密な薄膜コーティングの工業レベルのスパッタコーティング用に設計されたハイテクなスパッタリング装置です。このシステムは、イオンベースの材料蒸着源(スパッタ)と低圧陰極アーク技術を組み合わせて、非常に正確な材料層を提供します。その調節可能なRF力および調節可能なマグネトロンスパッタチャンバーは沈着率、沈着の均一性および沈殿された材料の厚さを制御することを可能にします。CANON ILC 1060ユニットは、従来のスパッタリングシステムで必要とされていた複雑なガス処理を必要とせずに、迅速かつ迅速に大面積に一貫した層を提供します。ANELVA ILC-1060のハイパワーソースは、パワーコントロールを操作しやすい10kWの内蔵ソースを備えており、非常に高いスパッタレートで動作することができます。その調節可能な電源はまたフィルム厚さ、均一性および質の精密な制御のためのスパッタ圧力および関連のスパッタ変数の容易な調節を可能にします。その電子ビーム蒸発源は、さまざまな材料をアルゴンガス雰囲気で蒸発させることを可能にします。蒸発源は、単一または複数のターゲットのるつぼを保持するように設計されており、堆積物の堆積率、厚さ、および均一性をユーザーに非常に正確に制御することができます。CANON ILC-1060は、コンピュータ化されたターゲット位置決めステージによって駆動される2つの独立したマルチチャンバーターゲットも備えています。ターゲットホルダーは調整可能で、2つの異なるサイズの材料に対応できます。ステージは、堆積膜の正確な均一性と品質を確保するために、ターゲット材料を正しく配置し、バランスを保つように設計されています。チャンバーシャッターを内蔵することで、ILC 1060クリーニングと基板ローディングを完全に自動化し、生産効率を向上させます。このツールはまた、リモートネットワーク接続を可能にし、操作を簡単に管理できます。組み込みPC制御とネットワークソフトウェアにより、ユーザーはいつでも資産のデータを監視およびアクセスできます。ILC-1060スパッタリングモデルは、工業グレードのシーラント、耐久性のあるコーティング、表面の保護層、およびその他の特殊薄膜製品の製造などの用途に最適なツールです。強力なソースと精密な制御により、ANELVA ILC 1060は、精密なスパッタ金属および合金層を製造するために探しているさまざまな業界に最適です。
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