中古 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643642 を販売中

CANON/ANELVA ILC-1060スパッタリング装置は、薄膜材料の製造および成膜のための汎用性と効率的なスパッタリングシステムです。モジュール式の設計で、複数の電源、ヒートシンク、スパッタリングターゲットを備えています。このユニットは、速度と性能の面で他の同様のシステムを上回り、より高速な処理とより高い精度を可能にします。ステンレス製のベルタイプのチャンバーは、二重蒸着や平面ターゲットなど、さまざまな構成に対応できます。キヤノンILC-1060は、精密成膜制御を可能にする複数の二軸モーションコントロールシステムと、薄膜成膜均一性を確保する高解像度光学平坦制御機を備えています。このツールの統合プロセス制御システムは、蒸着プロセスを監視し、最適かつ一貫した結果を保証します。基板加熱アセットは、1500Cまでの熱を供給できるため、幅広い薄膜材料の加工に適しています。ANELVA ILC 1060には4チャンネルのガス分配モデルが搭載されており、最大4つのガスをチャンバーに導入でき、さまざまなプロセスと構成が可能です。また、低圧または高圧プロセス制御用に設定できるデジタル加圧ガス制御システムを備えており、精密かつ均一な蒸着が可能です。CANON/ANELVA ILC 1060にはフルユニット診断機能も搭載されており、運用中の潜在的な問題や不一致を監視および診断することができます。また、自動レシピ管理機能を備えているため、毎回各パラメータを手動で設定することなく、さまざまなプロセスレシピを素早く簡単に切り替えることができます。ANELVA ILC-1060は信頼性が高く、強力で効率的なスパッタリングマシンであり、ユーザーはスピードと精度で薄膜材料を製造および堆積することができます。モジュラー設計、二軸モーションコントロール、完全診断機能により、幅広い薄膜成膜アプリケーションに最適なツールです。