中古 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643632 を販売中

CANON/ANELVA ILC-1060は、金属などの薄膜を基板上に堆積させるためのスパッタ装置です。このシステムは、ロードロックチャンバー、高周波電源、およびマグネトロンスパッタリングが行われるチャンバーからなるデュアルチャンバーユニットです。ロードロックチャンバーは、スパッタリングチャンバーの高真空を維持し、環境にそれを露出することなく基板をロードおよびアンロードすることができます。高周波電源を使用して、機械内のマグネトロンやその他のスパッタリング源がターゲット材料の表面にプラズマを放出してスパッタする。このプラズマは、電子励起されたイオン粒子で構成され、標的物質を爆撃し、原子や分子を分解して薄膜として基板に堆積させます。マグネトロンスパッタリングが行われるチャンバーは、RF電源、真空ポンプ、循環ガスツールで構成されています。最大10,000ワットのRFパワーを使用して、3 x 10-3 Paの最大圧力を達成することができ、基板上のターゲット材料の均一なスパッタリングを保証します。真空ポンプはチャンバー内の一定の圧力を維持するために使用され、循環ガス資産は基板上の均一なイオン化を保証します。キヤノンILC-1060モデルは、様々な材料を幅広い基板にスパッタすることが可能で、集積回路の製造など幅広い用途に適しています。装置には、ユーザーが堆積プロセスを監視できる診断ツールも含まれており、特定のアプリケーション要件を満たすために正確なパラメータを調整することができます。さらに、このシステムは容易に拡張可能であり、複数のスパッタリング源を可能にし、メンテナンス要件が低い。