中古 CANON / ANELVA ILC 1060 #293642935 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC-1060は、薄膜材料の製造における基板成膜用に設計されたシングルソーススパッタリング装置です。このシステムは、単一のスパッタ陰極を使用して、材料の薄い層を基板に均等に堆積させます。キヤノンILC-1060は200×200×100mmのベースチャンバーを備えており、小規模な成膜用途に適しています。ANELVA ILC 1060のスパッタリングチャンバーには、電子銃、ジオメトリマニピュレーター、マグネトロンスパッタガン、デジタル制御ボードが装備されています。電子銃はスパッタする材料の表面に負の電荷を供給するために使用され、ジオメトリマニピュレーターはスパッタされた材料の形状と角度を制御します。マグネトロンスパッタガンは基板表面の均一な蒸着を保証し、デジタル制御ボードは蒸着速度とスパッタガンのパワーを設定するために使用されます。CANON ILC 1060は、精密かつ一貫した成膜特性により、超硬コーティングやダイヤモンドライクカーボン（DLC）コーティングなどの薄膜成膜用途に最適です。その精密な蒸着制御により、基板の届きにくい部分でも均一で反復可能なスパッタ蒸着が可能です。ILC-1060は最大スパッタ蒸着速度が10nm/minであり、最も要求の厳しい薄膜生産アプリケーションにも適しています。このユニットには温度制御機も装備されており、蒸着プロセスが進行中である間、正確で安定した温度制御を保証します。水冷ツールも含まれており、スパッタリングチャンバーの温度を調節し、熱膨張による誤差を低減するのに役立ちます。ANELVA ILC-1060は、薄膜蒸着用途に最適な信頼性の高い資産です。すべてのコンポーネントと設定がはっきりと表示され、プログラマブルな設定により、あらゆる材料に一貫した正確なスパッタ蒸着が保証されます。さらに、その手頃な価格は、費用対効果の高いスパッタリングモデルを探している企業にとって理想的な選択肢です。