中古 CANON / ANELVA ILC 1051 #9257784 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC 1051スパッタリング装置は、薄膜成膜用に設計された電子マグネトロンスパッタリングシステムです。薄膜の優れた均一性と再現性を提供する高性能、高精度、自動化された工業ユニットです。CANON ILC 1051は2段階および3段階のプロセスを使用して金属、酸化物および窒化物を沈殿させることができます。材料の広い範囲に適しており、非常に薄い層から厚い膜まで、幅広い厚さのフィルムを堆積することができます。高純度のプラズマチャンバーと、比類のないコンタミネーションコントロールマシンを備えた超高真空環境を備えています。このスパッタリングツールは、高度なX-Yテーブルによって制御され、スパッタリングターゲットと基板の正確な位置決めが可能です。ANELVA ILC-1051には調整可能なz-anaisアセットがあり、曲面に薄膜を堆積させる機能を提供します。高度な冷却モデルを搭載し、スパッタリングターゲットと基板の両方に必要な熱制御を提供します。キヤノンILC-1051は、傾斜ターゲット、独立したマスフローコントローラ、温度コントローラ、スパッタリングプロセスの電力を供給する自動プラズマ発生器など、幅広い部品を取り揃えています。また、スパッタリングプロセスと堆積膜の両方を監視するためのコンピュータ制御診断システムも装備されています。このスパッタ装置のユニークな特徴の1つは、堆積膜の組成と構造に関する詳細なデータを提供できる高度なレーザーベースの分析システムです。このユニットは、ステップハイトや層厚を測定するだけでなく、その場での堆積特性を監視するためにも使用できます。CANON/ANELVA ILC-1051は高度に自動化されており、経験の浅いユーザーでも使いやすいです。ユーザーのニーズに合わせて構成することができ、モジュール設計によりメンテナンスやアップグレードが容易になります。それは信頼できる機械であり、例外的な性能および質はそれを研究、開発および産業使用のための大きい選択にします。