中古 CANON / ANELVA ILC 1051 #9144936 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC 1051スパッタリング装置は、さまざまな基板に幅広いフィルム層と材料を堆積するように設計された堅牢で信頼性の高いデバイスです。それは材料の薄い層を非常に正確かつ一貫して平面と曲面の両方にスパッタする機能を持っています。このシステムは、高真空チャンバーとチャンバー圧力制御ユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。高真空チャンバーはステンレス製で、チャンバーからガス分子を排出するのに十分な低圧を維持するためにターボ分子ポンプが装備されています。このプロセスはガス抜きとして知られています。チャンバーには、チャンバーの外壁を一定温度に保ち、ポンプ性能を向上させるためのウォータージャケットも付属しています。チャンバー圧力制御装置は、イオン源と電源の組み合わせです。イオン源は正と負のイオンを生成し、チャンバー内の原子や分子と衝突して原子を励起し、スパッタリングを生成します。電源は電子銃とガス源に印加される電圧を制御し、望ましいスパッタリング速度を達成します。CANON ILC 1051は、幅広い材料やフィルム層をスパッタするために使用できます。これらには金属、合金、酸化物、窒化物が含まれる。また、シリコン、ガラス、プラスチックなどのさまざまな基板にスパッタする機能も備えています。ANELVA ILC-1051はスパッタリングに加え、エッチングや表面洗浄などのプロセスにも使用できます。CANON/ANELVA ILC-1051には、手動または自動モードで操作できる制御ツールが装備されています。手動モードでは、オペレータは手動で必要なパラメータを達成するために圧力、温度、および電圧などのパラメータを調整することができます。自動モードでは、制御アセットは目的のパラメータを独立して維持します。また、オートパワーオフ機構、非常口、緊急遮断スイッチなど、さまざまな安全機能が搭載されています。装置はまた、追加の安全のためにロック可能であるように設計されています。全体的ILC-1051、スパッタリングシステムは信頼性の高い堅牢なデバイスであり、さまざまな基板にさまざまなフィルム層や材料を堆積させることができます。それはオペレータに手動および自動操作モードを両方提供し、最適操作を保障するために安全特徴の範囲と来ます。