中古 CANON / ANELVA ILC 1051 MKII #9390490 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC 1051 MKIIは、物理蒸着プロセスで使用されるスパッタリング装置です。スパッタリングは、材料上の薄膜、典型的には表面上の金属膜を作成するために使用されるプロセスです。このスパッタシステムは、マルチプラズマイオン源を駆動し、優れた表面品質と高い蒸着速度を提供するように特別に設計されています。CANON ILC 1051 MKIIはステンレス製の真空チャンバーで、容積は約260リットルです。4軸リニアモータドライバを搭載し、精密な立体スパッタ蒸着が可能です。このユニットにはロードロックチャンバーと排気ポンプが装備されており、効率的なプロセスサイクルのためにチャンバーを迅速に避難させるために使用されます。スパッタリングには、ANELVA ILC-1051 MKIIは最大4つの陰極を使用し、複数のフィルムを同時に沈着させることができます。各陰極はスパッタされるべきターゲット材料から成り、機械は各陰極に4500ワットまで渡すことができる調節可能な電源が装備されています。このツールには、高周波スパッタリング用の可変周波数無線周波数（RF）電源も装備されており、高い蒸着速度と均一な層の厚さを促進するのに役立ちます。ILC-1051 MKIIは、高レートおよび低レートのスパッタリング、ダイレクト、アングル、デュアルスパッタリング、および回転カソードのスパッタリングなど、さまざまなスパッタプロセスを実行することができます。このアセットには可動性のあるミッドプレーンもあり、さまざまなサイズや形状の基板にフィルムを堆積させることができます。ILC 1051 MKIIには、スパッタプロセスを監視および制御するインテリジェントコントローラが装備されています。このコントローラには、タッチスクリーンディスプレイ、プログラマブルボタン、ステータスインジケータが含まれており、オペレータはスパッタリングプロセスをリアルタイムで監視し、それに応じてパラメータを調整できます。コントローラには、自動スパッタリングシステムへのシームレスな統合のためのバーコードリーダーも含まれています。結論として、CANON/ANELVA ILC-1051 MKIIは、優れた表面品質と高い蒸着率を提供する信頼性の高いスパッタリングモデルです。この装置には、マルチプラズマイオン源、4500ワットの調整可能な電源、およびさまざまなサイズと形状の基板にフィルムを堆積させることができる可動ミッドプレーンが装備されています。このシステムにはインテリジェントコントローラも装備されており、オペレータはスパッタリングプロセスをリアルタイムで監視および制御し、それに応じてパラメータを調整することができます。