中古 CANON / ANELVA ILC 1015i #9101584 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC 1015iは、金属、セラミックス、ポリマーを真空中の基板にスパッタするために使用されるスパッタ装置です。高い精度と制御性で、広い領域に均一な膜を堆積させることができます。1015iには特許取得済みのデュアル周波数RF電源モジュールがあり、4MHzと13。56MHzの両方で動作することができます。これにより、不溶性金属からポリマーまで、さまざまな材料での使用に適した機械であり、堆積膜の厚さを極めて正確に制御することができます。また、1015iは自動放電制御を備えており、堆積プロセスの矛盾を排除するのに役立ちます。1015iのスパッタリングチャンバーには、スパッタリングプロセス中に材料を蒸発させるイオン化粒子用の電子ビームガンが装備されています。これにより、均一なスパッタリングが保証され、機械的摩耗よりも効率が向上します。また、2つのガス注入モジュールを備えており、堆積率、再結合率、および粒子沈着特性を制御するために、大きなガス混合物を導入しています。スパッタリングツールは、1000°Cまでの基板を加熱するために使用できる高温チャックも備えています。セラミックスやポリマーなどの材料で作られた基板で、均一な成膜を実現するために高温が必要となる場合があります。1015iには高度な制御アセットがあり、出力レベル、蒸着速度、基板温度などの運用パラメータを設定できます。これにより、ユーザーはモデルを特定の要件に合わせて調整することができます。1015iにはコンピュータプログラマブルインターフェイスもあり、ユーザーは遠隔で機器を制御することができます。このシステムは、安全性と信頼性を念頭に置いて動作するように設計されており、ユニットとユーザーの両方を保護するためにさまざまな安全スイッチとセンサーを備えています。また、排気装置を備えており、煙を抽出し、安全な作業環境を維持します。CANON ILC 1015iは、幅広い機能を備えた先進的なスパッタリングツールで、様々な素材や基材で使用できます。高精度と制御、安全機能の範囲だけでなく、産業用スパッタリング用途に最適です。