中古 CANON / ANELVA ILC 1015 #9302490 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC-1015は、マスフローコントローラ、真空システム、電源を搭載したスパッタ装置です。薄膜成膜、微細デバイス加工、基板洗浄などのスパッタリング用途向けに設計されています。機械は2つの主要な部品から成っています：部屋および電源のプラットホーム。チャンバーは真空チャンバー、蒸着源、基板ステージで構成されています。真空チャンバーはステンレス製で、基板への容易なアクセスを可能にするベルジャーデザインを備えています。この蒸着源は、チャンバードアに最大4つの独立したスパッタリング源を搭載した単一のターゲット供給源で構成されています。基質の段階は調節可能で、200mmx200mmの基質まで収容できます。キヤノンILC-1015の電源プラットフォームは、スパッタリング源の柔軟で正確な電力制御を提供するように設計されており、正確な薄膜蒸着が可能です。このプラットフォームは、DC電圧を制御する直流（DC）電源、スパッタリング源のPWMを制御するパルス幅変調（PWM）電源、RF電源の3種類の電源で構成されています。スパッタリング力は、0-5kWから調整することができ、厚い層の堆積を可能にし、原子の均一な球状クラスタを作成します。このツールは、手動モードまたは自動モードで操作できます。手動モードでは、ユーザーは圧力、温度およびRF力のような部屋変数を制御できます。自動モードでは、アセットはパーソナルコンピュータ（PC）を介してプログラムされ、操作されます。また、各種センサーを使用して堆積率や基板温度を測定することができます。ANELVA ILC-1015は、精密で正確な薄膜成膜を可能にするために設計された高度なスパッタリングモデルです。マイクロデバイスの製造、スパッタエッチング、その他のスパッタリング用途に適しています。高度な電源プラットフォームとユーザーフレンドリーな操作により、ILC-1015は研究者が望む結果を迅速かつ効率的に達成するのに役立ちます。