中古 CANON ANELVA ILC-1013MK2 #9134664 を販売中

CANON ANELVA ILC-1013MK2は、キヤノンアネルバ株式会社が製造する、物理蒸着（PVD）を用いて基板上に薄膜を堆積させるスパッタ装置です。このスパッタリングシステムはオープンエア設計で、蒸着チャンバの充電を最小限に抑え、高いスパッタ歩留まりを大幅に効率化します。ILC-1013MK2は、世界初の10GHz周波数範囲を備えた単一のRF電源を提供しています。これは、高度なイオンビーム技術とともに、スパッタリング速度の向上、膜厚の均一性の向上、フィルム密度の向上、ピンホールの減少、薄膜成長の低コストを可能にします。ユニットのシンプルなレイアウトにより、N2処理からイオン純度制御または圧力制御まで、複数のプロセスを迅速に統合できます。CANON ANELVA ILC-1013MK2には、DCマグネトロンソースが搭載されており、スパッタリング収率の向上と広い領域での均一性を実現します。また、プロセス制御機能も備えており、簡単かつ正確な蒸着速度と膜厚制御が可能です。Digital Interfaceは、高精度な堆積プロセスを保証するために、さまざまなパラメータを設定できます。油圧圧力制御ツールを使用することで、基板を損傷することなく均一で均質なフィルムを得ることができます。高度なミラー復元技術の使用は、サンプルの効率的なスパッタリングを妨げる可能性のある材料の蓄積を抑制するのにさらに役立つILC-1013MK2です。この機能により、手の届きにくい部品に高品質でダメージフリーなフィルムを堆積させることもできます。CANON ANELVA ILC-1013MK2は、PVDの分野で優れた性能を提供するように設計されています。低圧操作、迅速かつ簡単な工具セットアップ、高速プロセスサイクル時間、および精密な成膜制御により、優れた結果が得られます。そのため、ILC-1013MK2はPVD業界の多くのアプリケーションでますます人気のある選択肢となっています。CANON ANELVA ILC-1013MK2を使用して得られた優れた成果は、多くの業界で採用されています。その優れた性能、信頼性、使いやすさにより、ILC-1013MK2は今後も長年にわたって業界をリードし続けています。