中古 CANON ANELVA ILC-1013MK2 #9134660 を販売中

キヤノンアネルバILC-1013MK2は、大型電子部品の製造に使用されるスパッタ装置です。磁性を利用して材料粒子を基板上に移動させ、目的の部品を作成します。システムは、チャンバー、基板ホルダー、アノードで構成されています。チャンバーはステンレス製で、アルゴンのような低圧の高貴なガスで満たされています。チャンバーには、効率的なスパッタリングのための低圧環境を作成する真空シールが付属しています。基板ホルダーは、基板を保持するように設計されており、スパッタリングのためのプラットフォームを提供します。発生角度は調整可能で、異なる方向からの正確なスパッタリングを可能にします。このアノードは、モリブデンなどの特殊な材料で作られており、磁性と低電圧電場を組み合わせて、チャンバーから材料粒子を基板に転送します。ILC-1013MK2は100mm×200mmの成膜面積を有し、大型部品の製作に適しています。また、最大蒸着速度は11 nm/minで、500°Cの高温に達することができ、電子部品と機械部品の両方の製造に理想的です。このユニットは、低消費電力ビームを使用して蒸着速度を低減するイオンビーム補助蒸着（IBAD）にも使用できます。この特徴は、フィルムの均一性を維持しながら、堆積率を高めます。また、CANON ANELVA ILC-1013MK2は、スパッタリングパラメータの高精度を可能にする最先端の制御装置を備えています。また、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとリアルタイムディスプレイを備えているため、ユーザーはスパッタリング処理を迅速かつ簡単に監視および制御できます。このユニットには、放射線への曝露からユーザーを保護するガンマ線に敏感な安全ツール、スパッタリングアセットを最高の状態で維持する自動クリーニング機能など、多くの便利な機能が搭載されています。全体として、ILC-1013MK2は多様な機能を備えた信頼性と高精度のスパッタリングモデルであり、大規模な部品の工業生産に最適です。その洗練された制御装置は、高いレベルの精度を保証します、そのユーザーフレンドリーなインターフェイスは、それが非常に使いやすく、監視します。システムはまた安全を念頭に置いて設計され、自動クリーニング機能は単位が主要な作動状態で保たれることを保障します。