中古 CANON / ANELVA ILC-1013 #9280811 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC-1013は、先端技術ソリューションのグローバルリーダーであるキヤノンが製造したスパッタ装置です。このスパッタリングシステムは、金属やセラミックから硬質プラスチック、ガラスまで、さまざまな表面で高品質で高純度の薄膜コーティングを製造できるように設計されています。CANON ILC-1013は、産業および科学研究所のニーズに合わせて特別に設計されています。ANELVA ILC-1013スパッタリングユニットは、他の多くのスパッタシステムとは異なる機能を備えています。これは、高貴なガスと反応性ガスの複数のソースが装備されており、異なる材料のスパッタリング力と蒸着速度のより正確な制御を可能にします。すべてのガス源を遠隔で制御することができ、利便性と精度の向上を可能にします。機械の高精度制御とレーザーアライメントは、優れた接着性、耐薬品性、均一な厚さのコーティングを実現します。このツールは、ハイスループット機能により蒸着時間を短縮するように設計されており、高度な真空アセットにより最大の汚染制御が可能です。さらに、ILC-1013は常にオペレータの安全を確保するために、圧力、電力、および電流の安全チェックを実行することができます。CANON/ANELVA ILC-1013には、マグネトロン、中間周波数、および三極子陰極源からなる標準的なソースヘッドが含まれています。また、多層コーティングのために組み合わせることができる誘電体、セラミック材料に至るまで、様々なスパッタリングターゲットに対応しています。装置の高度なプラズマ診断システムは、分光計、Langmuirプローブ、およびリアルタイムプロセスフィードバックを提供するin-situ温度センサーを備えています。CANON ILC-1013は、技術的な特徴に加えて、自動温度およびイオン電流レギュレーション、低ノイズ動作、誤着時の警告を提供する内蔵パーティクル検出器など、さまざまな安全機能を備えています。このシステムは、パラメータ設定とプロセス監視のためのハイエンドの表示言語を備えており、より高い精度と使いやすさを実現しています。LCDディスプレイインターフェイスを使用すると、ターゲットを絞った反復可能な結果を得るために、複数のプロセスとレシピを保存して迅速にアクセスできます。また、プログラム可能なプロセス制御、レシピ制御、安全管理、アラーム設定など、さまざまな自動制御機能をサポートしています。ANELVA ILC-1013は専門の薄膜の沈殿のための非常に高性能のスパッタリングシステムを要求する実験室の必要性を満たすように設計されています。精度と高度な耐食性を兼ね備えた精密で均一なコーティングが可能です。この機械の特徴と安全対策は、高品質で薄膜コーティングの製造に理想的なツールです。