中古 CANON / ANELVA ILC-1013 #9275352 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC-1013スパッタ装置は、薄膜のスパッタ成膜に使用される最先端のツールです。それは一貫した厚さおよび均一性のフィルムを作成する信頼でき、正確な方法を提供します。キヤノンILC-1013は、光電子デバイス、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、半導体チップ、センサー、MEMSデバイス、自動車塗料およびコーティングなど、さまざまな用途に使用されています。ANELVA ILC-1013は、高度なダイオードレーザーインターロックカソードアーク（ILC）ソースを搭載した高度なスパッタ蒸着システムです。この源は特に均一な、連続的なおよび反復可能な薄膜のコーティングを作り出すように設計されています。このユニットには変調されたデジタルアーク電流供給が含まれており、アーク配信を正確に制御できます。ILC-1013には、PLCベースのプロセスコントロールパネル、ベリリウム合金インサートを備えたオプションのスパッタターゲット、洗練された空冷真空機も備えています。CANON/ANELVA ILC-1013は、ILCソースとともに、精密かつ再現性のある薄膜成膜を保証するために、さまざまな先進的なコンポーネントも含まれています。これには、RF電源、高精度圧力ゲージ、空冷ターゲットホルダー、リークバルブ、ESDセーフチャンバーが含まれます。すべてのコンポーネントは、安定した効果的な堆積ツールを作成するために一緒に動作するように設計されています。CANON ILC-1013スパッタリングアセットには、操作や監視を容易にするさまざまな機能が搭載されています。これには、スパッタリング中のプラズマの温度を測定および制御できる高精度のマスフローコントローラが含まれています。また、組み込みのソフトウェアスイートを備えており、プロセスのリアルタイムモニターに加えて、モデルを制御するグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。このソフトウェアスイートには、さまざまなレシピとWYSIWYGが含まれており、必要に応じてパラメーターをすばやく調整できます。全体的に、ANELVA ILC-1013スパッタ装置は、薄膜蒸着アプリケーションに最適なツールです。高度なILCソース、高度なコンポーネント、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、システムは均一な薄膜層を作成するための効率的で信頼性の高い選択肢を提供できます。さらに、さまざまな安全機能を備えているため、どのラボでも安全で信頼性の高いスパッタ蒸着ユニットです。